[发明专利]超薄面板制造系统有效
申请号: | 201110391330.4 | 申请日: | 2011-11-25 |
公开(公告)号: | CN102674698A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 黄龙云;姜东昊 | 申请(专利权)人: | 诺发光电股份有限公司 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 韩明星;金光军 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超薄 面板 制造 系统 | ||
技术领域
本发明涉及一种将诸如显示面板的面板蚀刻(薄化)为超薄板的技术,更详细来讲,涉及一种减少在玻璃基板上形成发光元件并以封装玻璃基板进行封装工艺的显示面板的厚度,以蚀刻为超薄板的技术。
背景技术
使显示面板的整体厚度变得更薄,以实现轻薄短小的薄化加工主要通过利用蚀刻溶液蚀刻由玻璃基板构成的面板而进行。超薄型显示面板的蚀刻方式有浸渍(dip)方式、喷射方式以及下降流(down flow)方式,为了得到超薄型的大面积面板,适合应用不良率低、便于批量生产的下降流方式。
但是,随着面板面积日益变大,以及在进行薄化的工程中要求使这种大面积面板整体以均匀的表面维持透明性,需要构成更加细致的蚀刻条件,而且在将大面积面板加工为超薄型面板的工艺中,还需要采取措施减少由脆弱性导致的产生划痕或者损坏的危险。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种在对大面积显示面板进行超薄化时,可确保面板整体表面的表面均匀性、厚度均匀性、透明性,可以增强抗损能力的超薄面板制造系统。
本发明可提供一种超薄面板制造系统,其特征在于,包含如下步骤:在碱性溶液中初步洗涤显示面板;竖直地放置完成所述初步洗涤的显示面板,使包含F+离子的蚀刻溶液流过,以进行使厚度变薄的蚀刻;最终洗涤完成所述蚀刻的显示面板;检查完成所述最终洗涤的显示面板的表面;测量完成所述表面检查的显示面板的厚度;以及在完成所述厚度测量的显示面板上附着保护薄膜。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,在所述初步洗涤步骤之后,在所述显示面板的一个面上附着掩膜,以在所述蚀刻步骤中进行仅对显示面板的单个面进行蚀刻的单面蚀刻;以及在蚀刻步骤和最终洗涤步骤之间还包含浸泡在水中以剥离所述掩膜的步骤。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,在所述单面蚀刻中,针对单面附着有所述掩膜的两个显示面板,相互接合附着有所述掩膜的表面,以使两个显示面板同时进行单面蚀刻。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,所述最终洗涤的步骤包含用蒸馏水喷射洗涤显示面板的步骤。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,所述检查显示面板的表面的步骤包含使用影像来检查是否有划痕的步骤。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,所述测量显示面板的厚度的步骤中,通过利用激光束的自动测量厚度装置来以非接触方式测量显示面板的厚度,并用真空吸盘将所述显示面板紧贴在工作台来进行测量。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,所述在显示面板上附着保护薄膜的步骤包含,将涂覆有粘结剂的、3至30μm厚度的透明树脂薄膜附着在显示面板的单面或者双面的步骤。
并且,本发明可提供一种超薄面板制造系统,该超薄面板制造系统的特征在于,所述蚀刻的步骤包含,针对显示面板的厚度的蚀刻速度以21μm/分为上限,以控制表面粗糙度的步骤。
根据本发明,可调节蚀刻速度来对大面积显示面板的整个表面以均匀的粗糙度进行超薄化,并且蚀刻之后还可以维持由玻璃基板形成的面板的透明度。
并且,根据本发明,利用掩膜,同时对两个显示面板简单地进行单面蚀刻,因此便于进行批量生产。
并且,根据本发明,用影像检查被蚀刻的显示面板表面上是否发生划痕等缺陷,并且以非接触方式测量显示面板的厚度,因此可无需顾虑超薄化的显示面板被损坏而完成质量检查。
并且,根据本发明,在被蚀刻的显示面板的单面或者双面上附着保护薄膜,因此可以增补超薄型面板的抗损能力。
附图说明
图1是示出本发明的一实施例的流程图;
图2是示出本发明的另一实施例的流程图;
图3是示出根据本发明的实施例的下降流方式的蚀刻工艺的剖视图;
图4是根据本发明的实施例以非接触方式测量显示面板的厚度的自动测量厚度装置的剖视结构图;
图5是示出根据本发明的实施例在显示面板上附着保护薄膜的剖视图;
图6是示出根据本发明的实施例在显示面板上附着掩膜,并对两个面板同时进行蚀刻的剖视图。
具体实施方式
以下,参照附图来详细说明本发明的优选实施例。
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