[发明专利]一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl₃)的无水干式恒温装置。

背景技术

扩散工艺是太阳能电池工艺的核心，直接关系到太阳能电池的转换效率，很多因素都会影响扩散工艺，其中扩散源三氯氧磷(POCl₃)温度的恒定对扩散工艺至关重要，因此扩散源三氯氧磷(POCl₃)温度需要一种恒温装置确保其温度恒定。现在通用的扩散源三氯氧磷(POCl₃)恒温方式为水浴恒温式，是将石英源瓶放在恒温水槽中，通过压缩机制冷带动水循环，温度传感器也置于水中，其存在温度控制不精。由于扩散炉的尾气通常是从气源柜中排出，而尾气是酸性气体，如果密封性不好，尾气就会泄漏到气源柜中，同时恒温水槽也放在气源柜中，氯元素及磷元素酸溶于水，因此在容易腐蚀导致恒温槽的压缩机等器件损坏。更重要的是如果石英源瓶爆瓶或者泄漏时三氯氧磷(POCl₃)与水会发生剧烈反应，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸，给扩散间的生产带来安全隐患。

发明内容

本发明的目的在于，针对现有技术的缺陷，提供一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl₃)恒温装置，可实现扩散源三氯氧磷(POCl₃)的无水干式恒温。

本发明的技术方案为，一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置，包括石英源瓶，且石英源瓶上设有石英源瓶接口，所述恒温装置还包括源盒、基座、控制盒和电源盒，源盒放置在基座上并在源盒顶部加装源盒盖，所述石英源瓶置于源盒内，石英源瓶内设温度传感器，且温度传感器与补偿导线一端相连而补偿导线另一端接至控制盒；所述基座从上到下依次包括传热铝块、帕尔贴组和散热装置。

以下对本发明作进一步描述。

所述源盒内装有检测石英源瓶内扩散源液位的液位传感器，当液位传感器检测到液面时，恒温装置的控制器将信号通过通讯模块将信息发送到控制中心提示更换扩散源。

源盒侧面设有观察石英源瓶内扩散源液位的液位观察窗，操作人员可以通过液位观察窗观察石英源瓶内液位情况。

所述源盒盖上设有使石英源瓶接口穿过的通孔。

所述控制盒内设有温度传感器放大模块、液位传感器模块、控制器和通讯模块，控制器装有散热风扇，补偿导线通过补偿导线孔与温度传感器放大模块连接，液位传感器与液位传感器模块通过屏蔽导线连接。

电源盒内设有变压器模块和开关基板，变压器模块将市电变为所述恒温装置用电，为所述恒温装置供电，开关基板由控制器控制给帕尔贴组供电。

所述散热装置包括散热风扇和散热片。

所述帕尔贴组与传热铝块之间用导热硅胶密封。

本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl₃)的恒温装置通过温度传感器对石英源瓶内的扩散源三氯氧磷(POCl₃)的温度进行实时检测，检测到的温度经控制器分析。控制器根据对温度的分析来控制帕尔贴组的开关基板开关，进而控制帕尔贴组电流通断实现温度调节，满足扩散源三氯氧磷(POCl₃)的温度要求。

由以上可知，本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl₃)的恒温装置通过通讯模块可以与控制中心进行数据交换，方便控制中心对恒温装置的实时监控，实现扩散源三氯氧磷(POCl₃)的无水干式恒温。

附图说明

图1为本发明太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置结构示意图；

图2为本发明基座俯视示意图；

图3为本发明太阳能电池扩散源三氯氧磷恒温装置俯视示意图；

图4为本发明基座内帕尔贴组示意图；

图5为本发明控制盒示意图；

图6为本发明电源盒示意图；

    在上述附图中各序号分别表示：

1-基座，          2-源盒，         3-石英源瓶，     4-源盒盖，

5-温度传感器，    6-控制盒，       7-补偿导线，     8-显示屏，

9-散热装置，      10-液位观察窗，  11-传热铝块，    12-电源盒，

13-通讯接口，     14-电源开关，    15-补偿导线孔

16-温度传感器孔， 17-石英源瓶接口，18-源盒盖石英瓶接口孔，