[发明专利]成像方法无效
| 申请号： | 201110376257.3 | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN103135336A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 林振慧 | 申请（专利权）人： | 林振慧 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 515041 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 成像 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种成像方法，其特征在于，包括：
在基底上覆盖含有光酸发生剂的光胶面；
对所述第一光胶面进行光辐射；
完成上述步骤后，对所述基底涂敷含有可以与酸发生反应的交联剂膜；
所述光胶面与所述交联剂层之间添加催化剂使发生交联反应，生成交联
层；
所述交联层与所述光交面构成光刻胶图形。
2.根据权利要求1所述的成像方法，其特征在于，所述交联剂膜的成分包括聚乙烯醇系树脂和/或聚丙烯酸系树脂。
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