[发明专利]致动器、防护罩、制造方法、光偏转器、扫描仪及投影仪

权利要求书

1.一种致动器，包括：

框架元件；

一对横梁元件；

可移动元件，由所述框架元件通过所述横梁元件旋转地支撑；

驱动器，用于使所述可移动元件相对于所述框架元件并围绕作为旋转轴的所述横梁元件旋转；以及

在所述横梁元件的旋转轴线上设置的阻尼元件。

2.如权利要求1所述的致动器，其中：

所述横梁元件形成为弯折形状并包括折回部分、直线部分、连接所述框架元件的第一连接轴、以及连接所述可移动元件的第二连接轴；和

所述阻尼元件布置在连接作为旋转轴线的所述第一连接轴和所述第二连接轴的直线上以便连接弯折的横梁元件的不连续空间。

3.如权利要求2所述的致动器，进一步包括：

分别形成在所述直线部分上的压电膜和电极，所述压电膜用于弯曲所述直线部分，而所述电极用于给所述压电膜提供驱动电压，其中，

所述可移动元件根据由所提供的驱动电压产生的各个直线部分的累加的弯曲而旋转。

4.如权利要求1所述的致动器，其中：

所述可移动元件包括碰撞减弱元件，所述碰撞减弱元件由与所述阻尼元件相同的材料制成。

5.如权利要求1所述的致动器，其中：

所述可移动元件由平板部分和加强壁组成，并且

所述平板部分包括由与所述阻尼元件相同的材料制成的所述碰撞减弱元件。

6.如权利要求1所述的致动器，其中：

所述阻尼元件形成于所述横梁元件的背面。

7.如权利要求6所述的致动器，其中：

所述框架元件和所述可移动元件中的每一个包括壁部分中的凹部，用于提供形成所述阻尼元件的空间。

8.如权利要求2所述的致动器，其中：

所述弯折的横梁元件中的每一个在旋转轴线的位置处包括用于所述旋转轴线的模式识别的位置标识。

9.如权利要求8所述的致动器，其中：

所述位置标识利用在所述弯折的横梁元件上布置的并向驱动器提供驱动能量的布线形成。

10.一种防护罩，用于如权利要求1所述的致动器，所述防护罩包括：

用于围绕所述致动器的周边壁和用于支撑所述阻尼元件的支撑壁。

11.一种用于如权利要求1所述的致动器的制造方法，包括如下步骤：

当所述框架元件相对于水平平板倾斜时，在所述横梁元件上形成所述阻尼元件。

12.一种用于如权利要求1所述的致动器的制造方法，包括如下步骤：

将所述阻尼元件的模具装入所述框架元件内，并向所述模具内注入胶状材料；和

在所述胶状材料固化来在所述横梁元件上形成所述阻尼元件后从所述框架元件分离所述模具。

13.一种用于如权利要求1所述的致动器的制造方法，包括如下步骤：

固化胶状材料以形成阻尼材料；和

应用所述阻尼材料于所述横梁元件上以形成阻尼元件。

14.一种用于如权利要求2所述的致动器的制造方法，包括如下步骤：

通过张力并通过弯折的横梁元件的旋转轴线上的间隙来延伸棒状元件；

放入胶状材料以与所述弯折的横梁元件和所述棒状元件相接触；

固化所述胶状材料来形成阻尼元件；以及

将棒状元件从所述阻尼元件分离。

15.一种包括如权利要求1所述的致动器的光偏转器，其中，

所述可移动元件包括反射面，并且

旋转所述可移动元件来在不同方向反射入射光束。

16.一种包括如权利要求1所述的致动器的二维光扫描仪，其中，

所述致动器具有嵌套结构；

所述可移动元件包括反射面；并且

所述可移动元件在相互正交的两个轴向上旋转，以便在不同方向反射入射光束，从而在相互正交的两个不同方向进行扫描。

17.一种图像投影仪，包括如权利要求16所述的二维光扫描仪，利用所述二维光扫描仪在投影平面上形成图像。