[发明专利]一种取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液

权利要求书

1.一种取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液，其特征在于：该抛光液由下列组分组成(体积百分比)：双氧水10～40%、有机光亮剂2-5%，浓硫酸0.8%-2.4%，双氧水稳定剂3-8%及余量的水。

2.根据权利要求1所述的取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液，其特征在于：该抛光液由下列组分组成：双氧水20～40%、有机光亮剂2-4%，浓硫酸1%，双氧水稳定剂4-6%及余量的水。

3.根据权利要求1或2所述的取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液，其特征在于：双氧水稳定剂为甲醇、乙醇或乙二醇。

4.根据权利要求1或2所述的取代铜酸洗工艺的处理铜及铜合金表面的抛光液，其特征在于：有机光亮剂为OP-10、平平加、聚乙二醇、氨基唑或相同体系的衍生物。

5.一种如权利要求1所述的抛光液的制备方法，包括有以下步骤：

   （1）在容器中加入57-60%的去离子水，再加入4-6%的浓硫酸使水发热，同时具有一定的酸度，另外趁热再加入双氧水稳定剂18-20%，有机光亮剂10-12%，酸化24小时加水满至100%后得到有机光亮剂溶液；

  （2）用20%-70%的水和20%-40%的有机光亮剂溶液以及10～40%的双氧水混合得到抛光液。