[发明专利]基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法

权利要求书

1.一种基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法，其特征在于：所述基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法包括以下步骤：

1)检测待装调光学系统各光学元件的面形波像差；

2)根据等光程原则，判断待装调光学系统的各光学元件的面形是否存在互补，若是，则直接退出待装调光学系统的装调过程；若否，则进行步骤3)；

3)对待装调光学系统各光学元件的空间位置进行调整。

2.根据权利要求1所述的基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法，其特征在于：所述步骤2)中面形互补的判断方式是：

2.1)将步骤1)中已经得到的待装调光学系统各光学元件的面形波像差进行叠加，并得到叠加后的各光学元件的面形波像差矢量和；

2.2)若叠加后的各光学元件的面形波像差矢量和的绝对值减小，则待装调光学系统各光学元件的面形是互补；若叠加后的各光学元件的面形波像差矢量和的绝对值增大，则待装调光学系统各光学元件的面形是非互补的。

3.根据权利要求1或2所述的基于波像差检测的光学系统面形补偿装调方法，其特征在于：所述步骤3)中对待装调光学系统各光学元件的空间位置进行调整的方式是：对待装调光学系统各光学元件进行平移、旋转或倾斜。