[发明专利]一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极有效
申请号: | 201110358056.0 | 申请日: | 2011-11-14 |
公开(公告)号: | CN102548061A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 周水军 | 申请(专利权)人: | 新余市长城铜产品开发有限公司 |
主分类号: | H05B3/03 | 分类号: | H05B3/03;H05B3/62;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
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地址: | 338000 江西省新余*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产 多晶 真空炉 水冷 电极 | ||
1.一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极,包括后端带进出冷却水管的深孔铜棒、锁紧铜螺母、聚四氟乙烯套环、O型密封圈、胶木绝缘垫环、胶木绝缘螺栓套管、胶木绝缘托盘、电极固定盘、电极接线板、连接螺栓、圆台型铜块、电刷,其特征在于:在圆台型铜块的大圆面上设置电刷,该铜块的侧面与深孔铜棒前端设置相同锥度的圆台型孔紧密贴合,连为一体。
2.根据权利要求1所述的一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极,其特征在于:所述电刷由一根根竖立在圆台型铜块大圆面上的钼丝组成。
3.根据权利要求2所述的一种生产多晶硅真空炉用水冷铜电极,其特征在于:所述钼丝垂直镶嵌或插入在圆台型铜块的大圆面上。
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