[发明专利]使用拼接的多光源的光刻装置有效
| 申请号： | 201110353676.5 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN103105737A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 韩雨青 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 拼接 光源 光刻 装置 | ||
1.一种使用拼接的多光源的光刻装置，包括光源模块，掩模和镜头，其特征在于，所述光源模块具有多个光源、与多个光源对应的整形光学组件和匀光部件，从各个光源出射的光经对应的整形光学组件整形后入射至匀光部件，经匀光部件匀光后作为光刻装置的光源模块的出射光。
2.根据权利要求1所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述整形光学组件包含透射元件及反射元件。
3.根据权利要求2所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述反射元件与光源一一对应。
4.根据权利要求3所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述反射元件为直角棱镜。
5.根据权利要求4所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述光源为出射光波长相同的汞灯、LED或LD，各个光源的功率可调，发光方向可调。
6.根据权利要求2所述的使用拼接的多光源的光刻装置，其中，部分光源发出的光经反射元件反射后进入匀光部件，部分光源发出的光直接经透射元件整形后进入匀光部件。
7.根据权利要求6所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中所述反射元件为直角棱镜。
8.根据权利要求7所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述光源为出射光波长相同的汞灯、LED或LD，各个光源的功率可调，发光方向可调。
9.根据权利要求2所述的使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述反射元件为透反射元件，从一部分光源出射的光经透反射元件透射后入射至匀光部件，从另一部分光源出射的光经透反射元件反射后进入匀光部件。
10.根据权利要求1-9中任意一个所述的使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述匀光部件为石英棒。
11.根据权利要求10所述使用拼接的多光源的光刻装置，其中，所述石英棒为矩形、锥形或截面为六角形的石英棒。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110353676.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可携式电子装置
- 下一篇：一种铝电解槽系列对地绝缘强度测量电路
