1.高分辨率福布斯非球面光刻物镜，其特征在于：共29块透镜，包括6个福布斯非球面，分为前后透镜组，其中：
前组透镜包括第一负透镜、第一正透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四正透镜、第二弯月透镜、第二负透镜、第三弯月透镜、第三负透镜、第四负透镜、第五负透镜、第四弯月透镜、第五正透镜、第六正透镜、第七正透镜、第五弯月透镜、第六弯月透镜、第六负透镜、第七负透镜、第七弯月透镜；以上透镜顺次排列，各透镜同光轴，用透镜外框上的机械组件固定它们之间的相对位置；
所述的第二正透镜后表面为12次福布斯非球面；所述的第四负透镜前表面为14次福布斯非球面；所述的第六弯月透镜后表面为12次福布斯非球面；
后组透镜包括第八正透镜、第九正透镜、第八负透镜，第十正透镜、第十一正透镜、第十二正透镜、第十三正透镜、第九负透镜与第十四正透镜；以上透镜顺次排列，各透镜同光轴，用透镜外框上的机械组件固定它们之间的相对位置；
所述的第八正透镜前表面为14次福布斯非球面；所述的第九负透镜前表面为14次福布斯非球面；所述的第十四正透镜后表面为8次福布斯非球面；
前后透镜组通过透镜外框上的机械组件按一定间距固定连接在一起，两个透镜组同光轴；
以上各透镜的具体参数如下：
半径(毫米) 间距(毫米) 玻璃标号
物面 ∞ 86.43822187
1 -144.6188544 12 SI02
2 599.7125332 ∞
3 25276.15165 25.23140404 SI02
4 -222.6391828 1.000000011
5 ∞ 25.53763452 SI02
6 -362.0892464 1
7 446.4302142 25.01288961 SI02
8 -728.5155945 1
9 238.300211 26.53595723 SI02
10 6640.237714 1.000000021
11 230.6074825 25.07485746 SI02
12 105.6294485 29.29892699
13 910.915972 27.98554751 SI02
14 196.4707275 1
15 116.5935003 13.7157095 SI02
16 160.7164798 26.19983183
17 -280.9718943 12.00000005 SI02
18 196.1484938 30.8665752
19 -166.0092803 12.00000144 SI02
20 -311.3200088 5.363721644
21 -209.6667271 12 SI02
22 1688.303537 37.71723524
23 -355.1046392 18.95596313 SI02
24 -219.9880429 1.000000006
25 3329.842612 50.42236126 SI02
26 -235.1248701 1
27 1046.39696 28.22841714 SI02
28 -804.464265 1.175153291
29 259.311809 52.14248286 CAF2
30 -3291.585882 1.073343366
31 320.3295016 26.50968915 SI02
32 1240.179806 27.03630156
33 211.3266508 18.80511552 SI02
34 144.6673928 43.0312764
35 -314.2444957 12 SI02
36 161.0848759 41.8449751
37 -184.1756923 18.70270669 SI02
38 -3154.573967 40.06764676
39 -317.726622 53.03041936 CAF2
40 -230.2358129 2.588621911
41 ∞ 1
42 441.772503 39.85441125 CAF2
43 ∞ ∞
44 376.0512317 27.69512392 CAF2
45 -11674.90859 43.35308247
46 -228.4500679 12.00347754 SI02
47 ∞ 4.976439971
48 541.5143418 43.38135171 SI02
49 -462.1279214 1
50 427.4395953 26.11226234 CAF2
51 -9116.632074 1.003449087
52 155.117228 41.42431997 CAF2
53 395.5792902 38.24651432
54 114.0672548 23.46443377 CAF2
55 325.4572514 9.19794828
56 2507.507771 21.338361 SI02
57 465.6436207 2.03971571
58 418.139501 45.72825174 SI02
59 381.8450857 9.001605926
像面 ∞ ∞
所述的六个福布斯非球面系数为：
福布斯非球面数据
4面 Y半口径 -222.6391828
归一化半口径 92.37791909
4阶Qbfs系数 0.022609411
6阶Qbfs系数 -0.003122142
8阶Qbfs系数 0.000859775
10阶Qbfs系数 -0.000108869
12阶Qbfs系数 6.50E-06
19面 Y半口径 -166.0092803
归一化半口径 72.84538716
4阶Qbfs系数 0.207356045
6阶Qbfs系数 -0.007534442
8阶Qbfs系数 0.003184499
10阶Qbfs系数 -0.000525396
12阶Qbfs系数 7.77E-05
14阶Qbfs系数 -5.94E-06
34面 Y半口径 144.6673928
归一化半口径 88.55203471
4阶Qbfs系数 -0.053153204
6阶Qbfs系数 0.020325828
8阶Qbfs系数 -0.003345144
10阶Qbfs系数 0.000435624
12阶Qbfs系数 -3.38E-05
42面 Y半口径 441.772503
归一化半口径 122.7140033
4阶Qbfs系数 0.186237631
6阶Qbfs系数 0.04817039
8阶Qbfs系数 -0.002555892
10阶Qbfs系数 -0.000132494
12阶Qbfs系数 5.23E-05
14阶Qbfs系数 -9.98E-06
56面 Y半口径 2507.507771
归一化半口径 64.85362438
4阶Qbfs系数 0.15435544
6阶Qbfs系数 0.027527596
8阶Qbfs系数 0.003897279
10阶Qbfs系数 0.000250883
12阶Qbfs系数 1.76E-05
14阶Qbfs系数 3.14E-06
59面 Y半口径 381.8450857
归一化半口径 23.44458094
4阶Qbfs系数 0.032543796
6阶Qbfs系数 -0.001327654
8阶Qbfs系数 -1.17E-06
。
