[发明专利]一种动镜平面微调机构装置无效
申请号: | 201110343788.2 | 申请日: | 2011-11-03 |
公开(公告)号: | CN102508360A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 赵立新;胡松;邢薇;杨勇;王建;何渝 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B7/198;G03F7/20 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平面 微调 机构 装置 | ||
1.一种动镜平面微调机构装置,其特征在于:所述装置包括基座、支撑架、动镜、四组柔性铰链、连杆、压紧块、压电陶瓷驱动器、球头、侧壁构成,其中:
支撑架上设置有四组柔性铰链;
每个柔性铰链上设置有一个顶端,每个顶端分别位于支撑架的四个角上;
每个柔性铰链上设置有一个尾端,每个尾端分别固定在基座上;
压电陶瓷驱动器安装在侧壁上,压电陶瓷驱动器的前端具有一球头,球头安装在压紧块中;连杆的一端与压紧块相连,连杆的另一端与支撑架相连;
在支撑架的中央设置有一通孔,动镜安放在通孔中;运用柔性铰链的杠杆原理,在调整动镜的镜片时,通过所述在支撑架上设置四组相同的柔性铰链,能对动镜进行X方向上的位置调节,以校正装配误差。
2.如权利要求1所述的动镜平面微调机构装置,其特征在于:支撑架及四组柔性铰链用65Mn金属材料制成。
3.如权利要求1所述的动镜平面微调机构装置,其特征在于:柔性铰链具有顶端圆弧A、B、C、D和尾端圆弧E、F、G、H;顶端圆弧A、B、C、D和尾端圆弧E、F、G、H分别对称分布于支撑架的水平线中心线两侧;顶端圆弧A、顶端圆弧B的中心点都位于第一中心线上;顶端圆弧C、顶端圆弧D的中心点都位于第二中心线上;尾端圆弧E、尾端圆弧F的中心点都位于第三中心线上;尾端圆弧G、尾端圆弧H的中心点都位于第四中心线上;第一中心线、第二中心线、第三中心线和第四中心线相互平行并与支撑架的水平中心线相互平行。
4.如权利要求1所述的动镜平面微调机构装置,其特征在于:顶端圆弧A、顶端圆弧C和尾端圆弧E、尾端圆弧G位于支撑架的垂直中心线的一侧;顶端圆弧B、顶端圆弧D和尾端圆弧F、尾端圆弧H位于支撑架的垂直中心线的另一侧;顶端圆弧A、顶端圆弧C和尾端圆弧E、尾端圆弧G的中心点位于第五中心线上;顶端圆弧B、顶端圆弧D和尾端圆弧F、尾端圆弧H的中心点位于第六中心线上;第五中心线、第六中心线与垂直中心线相互平行。
5.如权利要求1所述的动镜平面微调机构装置,其特征在于:所述通孔内还设有一台阶,动镜安放在通孔内的台阶上。
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