[发明专利]大气压微尺度低温等离子体射流发生装置

权利要求书

1.一种大气压微尺度低温等离子体射流发生装置，由具有脉冲调制功能的射频电源(6)，网络匹配器(7)，等离子体放电部件构成，其特征在于：等离子体射流在石英玻璃管(1)内产生，石英玻璃管内的激励电场由安放在石英玻璃管两侧相对着的位置的平板形金属电极(2)和(3)建立，在平板形金属电极的上表面和下表面上分别放置石英玻璃板(5)和石英玻璃板(4)来固定整个平板形金属电极(2)和(3)以及石英玻璃管(1)，在石英玻璃板(4)和(5)的外侧正对着石英玻璃管(1)的位置附近分别放置紫外光源(8)和紫外光源(9)使得发射的紫外光透过石英玻璃板(4)或(5)以及石英玻璃管(1)的管壁照射在石英玻璃管(1)内流过的工作气体，这样构成所述等离子体放电部件；平板形金属电极(2)接地，平板形金属电极(3)由具有脉冲调制功能的射频电源(6)经过网络匹配器(7)驱动；在石英玻璃管(1)的射流输出端按实际要求安装相应尺寸的射流整形喷嘴。

2.根据权利要求1所述的一种大气压微尺度低温等离子体射流发生装置，其特征是所述的射频电源的工作频率为13.56MHz的工业标准频率，脉冲调制占空比在1％到100％范围内变化；所述石英玻璃管的内径取值范围为3微米到2毫米；所述石英玻璃管和石英玻璃板材料具有对紫外光低吸收，低散射和高透过率的光学特性。