[发明专利]盘检验方法和盘检验装置无效
申请号: | 201110300799.2 | 申请日: | 2011-09-29 |
公开(公告)号: | CN102446531A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 小林宏明;会田桐;铃木明俊 | 申请(专利权)人: | 索尼公司;索尼信息技术股份有限公司 |
主分类号: | G11B20/18 | 分类号: | G11B20/18;G11B20/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 黄小临 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 检验 方法 装置 | ||
技术领域
本公开涉及一种光学信息记录介质等的盘检验方法,以及在盘检验方法中使用的盘检验装置。
背景技术
在相关技术中,为确认用于产生光学信息记录介质的盘的记录标记的形状,在形成记录标记后执行显影(developing),并且然后必须通过SEM(扫描电子显微镜)等来确认所形成的记录标记。为此,在执行显影以及通过SEM执行观测之前看不见形状,这花费了确认的时间,并且效率不能令人满意。在相关技术的方法中,在观测时,记录标记的形成位置和SEM的观测点之间的对准(搜索)很困难并且麻烦。另外,基于SEM的观测是必须的,并且因此难以正好在剪切(cutting)之后看到记录标记的整体形状。
同时,已经提出一种方法,其中利用诸如激光之类的光束来照射(irradiated)目标对象,光学检测单元接收其的反射光,并且测量精细的图案(例如,日本待审实用新型注册申请NO.58-74108)。在该方法中,利用以下现象来测量精细的图案,在所述现象中,当在目标对象的表面存在精细的线或者点时,照射光被散射而使光学检测单元的光接收的紊乱(disorder)。
发明内容
在上述的检验方法中,当测量光学信息记录介质的记录标记时,在光学信息记录介质上形成的同心轨道方向上测量所形成的记录标记的长度。也就是,测量光学信息记录介质的轨道上的记录标记的形成位置。
然而,在该测量方法中,为了测量记录标记的形成位置,执行所谓的在轨测量(on-track measurement),其中关于所形成的记录标记的中心执行该测量。为此,不测量与通过记录标记的中心的测量位置偏离的部分。
相应地,在上述的检验方法中,即使在光学信息记录介质上形成记录标记的位置,并且长度在轨道方向上,也难以测量所形成的记录标记的形状。
期望提供一种能够测量记录标记的整体的盘检验装置和盘检验方法。
根据本公开的实施例,提供了一种盘检验方法,包括:在盘上形成记录标记;在旋转主轴以将滑动器移动每个预定宽度的同时,通过拾取单元从盘的内侧向外侧或者从外侧向内侧扫描记录标记以读取再现信号;在信号获取单元中从再现信号中获取再现数据;以及在计算单元中确定再现数据是否正确,并且在确定再现数据不正确时,优化记录标记的形成条件。
根据本公开的另一实施例,提供了一种盘检验装置,包括:拾取单元,在盘上记录信号并且从盘中读取信号;滑动器,移动所述盘;信号获取单元,获取由拾取单元读取的信号;以及计算单元,从信号获取单元获取的信号中识别记录标记的形状,并且将其与规定值比较,其中在读取信号时,将滑动器移动每个规则的宽度,使得通过拾取单元扫描包括记录标记的整体的区域。
根据本公开的实施例的盘检验方法和盘检验装置,在盘上形成记录标记并且通过拾取单元从记录标记中读取再现信号。在该情形下,在移动滑动器的同时,拾取单元从盘的内侧向外侧或者从外侧向内侧执行扫描,并且读取记录标记。如上所述地读取记录标记,并且由此可以彻底地获取其中形成记录标记的范围中的再现信号。为此,可以在信号获取单元和计算单元中从记录信号中获得用于识别记录标记的整体形状的再现数据。相应地,可以确认记录标记的整体的形状。
根据本公开,可以提供一种能够测量记录标记的整体的形状的盘检验装置和盘检验方法。
附图说明
图1是图示根据本公开的实施例的盘检验装置的配置的图。
图2是图示根据本公开的实施例的盘检验装置的配置的图。
图3是图示根据本公开的实施例的盘检验方法的流程图。
图4是图示根据本公开的实施例的盘检验方法的流程图。
图5是图示根据本公开的实施例的盘检验方法的再现操作的图。
图6是图示由根据本公开的实施例的盘检验方法的计算处理获取的2维图像的示例的图。
图7是图示由根据本公开的实施例的盘检验方法的计算处理获取的3维图像的示例的图。
图8A和图8B是图示在根据本公开的实施例的盘检验方法中通过与阈值比较来确定记录标记的形状的方法的示例的图。
具体实施方式
下文中,将借助于示例来描述本公开的优选实施例,但是本公开不限于以下的示例。
按以下顺序来进行描述。
1.盘检验装置的实施例
2.盘检验方法的实施例
1.盘检验装置的实施例
下文中,将详细地描述本公开的盘检验装置的实施例。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于索尼公司;索尼信息技术股份有限公司,未经索尼公司;索尼信息技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110300799.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体器件
- 下一篇:一种新型可定时熄灭的台灯