[发明专利]可调光滤波器

权利要求书

1.可调光滤波器，包括光纤准直器、扩束系统、衍射元件、4f系统和带反射镜的微电机系统，光由光纤准直器输入经扩束系统扩束后，经过衍射元件后，不同波长的光被色散，以不同的衍射角入射到4f系统，之后被微电机系统的反射镜反射回光路中，再次经过4f系统、衍射元件、扩束系统，最后由光纤准直器输出，其特征在于：所述滤波器还包括一标准具；所述标准具为透射式标准具，位于衍射元件之前或之后的光路中；所述光纤准直器为两个单光纤准直器，或者一个双光纤准直器。

2.如权利要求1所述的可调光滤波器，其特征在于：所述透射式标准具由一反射式标准具替代，位于微电机系统后面，4f系统的虚焦面处，光经微电机系统反射后进入反射式标准具，经该反射式标准具反射之后，再由微电机系统反射回光路中。

3.如权利要求1所述的可调光滤波器，其特征在于：所述透射式标准具由一反射式标准具替代，设置于微电机系统的反射面上。

4.如权利要求1所述的可调光滤波器，其特征在于：所述标准具为可调单腔标准具，或者可调多腔标准具。

5.如权利要求1所述的可调光滤波器，其特征在于：所述标准具由一镀膜的梳状滤波器替代，位于衍射元件之前或之后的光路中。

6.如权利要求1-5任一权利要求所述的可调光滤波器，其特征在于：所述滤波器还包括一狭缝光阑，位于4f系统的频谱面上，仅设置于光被微电机系统反射之前的光路上。

7.可调光滤波器，包括光纤准直器、扩束系统、衍射元件、4f系统和带反射镜的微电机系统，光由光纤准直器输入经扩束系统扩束后，经过衍射元件后，不同波长的光被色散，以不同的衍射角入射到4f系统，之后被微电机系统的反射镜反射回光路中，再次经过4f系统、衍射元件、扩束系统，最后有光纤准直器输出，其特征在于：所述滤波器还包括一狭缝光阑，位于4f系统的频谱面上，仅设置于光被微电机系统反射之前的光路；所述光纤准直器为两个单光纤准直器，或者一个双光纤准直器。

8.如权利要求1或7所述的可调光滤波器，其特征在于：所述衍射元件为透射式衍射光栅或者反射式衍射光栅；所述扩束系统为开普勒扩束系统或者伽利略扩束系统。

9.如权利要求6所述的可调光滤波器，其特征在于：所述狭缝光阑的狭缝阵列不等间距设置，波长短的位置狭缝密度高，波长长的位置狭缝排列密度低。

10.如权利要求6所述的可调光滤波器，其特征在于：所述狭缝光阑的狭缝呈锯齿状或者梳状。