[发明专利]搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及搬运装置，设有行走保持体和防跳出机构，所述行走保持体能够保持着收纳容器而行走，所述收纳容器中收纳沿上下方向层叠的圆板形基板，且在侧面形成供基板出入用的开口，所述防跳出机构用于防止基板从保持在所述行走保持体上的所述收纳容器的所述开口跳出。

背景技术

上述搬运装置通过使保持着收纳容器的行走保持体行走来搬运收纳容器，且设有防止基板在行走保持体行走时从收纳容器的开口跳出的防跳出机构。

作为这类搬运装置，过去有一种技术是设置接触体来构成防跳出机构，该接触体能够移动到与收纳容器中收纳的基板的侧面接触的接触位置和脱离基板的侧面的脱离位置，该接触体的接触位置设定在基板出入方向上从收纳容器中收纳的基板的开口侧端部的内侧一直到外侧的部位(譬如参照专利文献1)。

由此，通过在接触体移动到接触位置的状态下使行走保持体行走，就能在防止基板从收纳容器跳出的前提下使搬运装置行走。另外，通过使接触体移动到脱离位置，能够防止在用搬运装置上所设的移载装置或外部的移载装置将搬运保持体保持的收纳容器移载到容器搬运目标部位时基板与接触体接触而导致破损。

专利文献1：日本发明专利特开2001-077170号公报

采用上述过去的搬运装置，在接触体移动到接触位置的状态下，接触体在基板出入方向上位于从基板的开口侧端部的内侧一直到外侧的部位。而如果在接触体移动到接触位置的状态下接触体位于基板的开口侧端部的外侧，则由于接触体位于基板的开口侧端部的外侧，容易导致在接触体移动到接触位置的状态下的搬运装置在基板出入方向上的宽度相应地增大，很难缩小行走时的搬运装置在基板出入方向上的尺寸。

发明内容

本发明鉴于上述实情，目的在于提供一种搬运装置，既能防止基板跳出，又能缩小行走时在基板出入方向上的尺寸。

本发明的搬运装置设有行走保持体和防跳出机构，所述行走保持体能够保持着收纳容器而行走，所述收纳容器中收纳沿上下方向层叠的圆板形基板，且在侧面形成供基板出入用的开口，所述防跳出机构用于防止基板从保持在所述行走保持体上的所述收纳容器的所述开口跳出，

所述防跳出机构具有接触体，该接触体能够移动到与保持在所述行走保持体上的所述收纳容器中收纳的基板的侧面接触的接触位置和脱离基板的侧面的脱离位置，所述接触位置设定为：所述接触体在基板出入方向上位于所述收纳容器中收纳的基板的开口侧端部与中央部之间。

采用上述结构，在防跳出机构的接触体移动到接触位置的状态下，能够防止基板从收纳容器的开口跳出，并且在防跳出机构的接触体移动到脱离位置的状态下，能够防止在收纳容器相对于防跳出机构作相对移动时接触体干扰基板而导致基板破损的情况发生。

而且，在接触体移动到接触位置的状态下，接触体在基板出入方向上位于基板的开口侧端部的内侧(向着收纳容器内部的一侧)。这样，由于在接触体移动到接触位置的状态下接触体没有位于基板的开口侧端部的外侧(向着收纳容器外部的一侧)，因此在接触体移动到接触位置的状态下的搬运装置在基板出入方向上的宽度不易增大，容易缩小行走时的搬运装置在基板出入方向上的尺寸。

从而，本发明的搬运装置既能够防止基板跳出，又能容易地缩小行走时在基板出入方向上的尺寸。

作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述行走保持体以所述开口向着与行走方向交叉的横向的姿势来保持所述收纳容器。

采用上述结构，是使行走保持体以收纳容器的开口向着横向的姿势来保持收纳容器，而由于基板出入方向为横向，因此缩小了行走保持体在横向的尺寸，从而能够缩小行走保持体的行走路线的横向宽度。

作为本发明的上述搬运装置的实施例，最好是所述防跳出机构具有一对所述接触体和移动操作机构，所述一对接触体相对于所述收纳容器中收纳的基板上与基板出入方向正交的宽度方向的中央部而位于其两侧，所述移动操作机构使所述一对接触体沿所述宽度方向相互接近而移动到所述接触位置，并使所述一对接触体沿所述宽度方向相互远离而移动到所述脱离位置。

采用上述结构，通过使一对接触体相对于基板上的宽度方向的中央部而位于其两侧，能够在接触体与基板在宽度方向十分平衡地进行接触的状态下防止基板跳出。

另外，由于是使一对接触体沿宽度方向作相互远离或接近的移动，从而使一对接触体的位置移动到接触位置和脱离位置，因此接触体不仅在接触位置上而且在脱离位置上也是位于开口侧端部与中央部之间，因此即使在接触体移动到脱离位置的状态下也能容易地缩小搬运装置在基板出入方向上的尺寸。