[发明专利]闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种闸阀，这种闸阀能够打开和闭合其中工件从一个处理室被传送到另一个处理室所经过的传送通道，或者能够打开和闭合其中压力流体、气体或类似物流经的流体通道或排出通道。

背景技术

迄今为止，在半导体薄片、液晶基板或类似的处理设备中，半导体薄片、液晶基板等会经过通道被送进和送出多种处理室，闸阀则用在这种通道内用于打开和闭合通道。

例如，在日本专利第2613171号公开的这种闸阀中，阀盘通过在缸的驱动作用下移动的阀杆的平移运动到达阀板的面对位置后，阀杆会倾斜，借此阀盘会压靠阀座并且被安置在阀座上，形成在阀箱内的通道会被密封。

发明内容

近来，在半导体薄片等制造厂商在空间节约上不断改善的同时，人们期望能进一步地使构成并被使用在处理设备中的闸阀小型化。并且，也存在能够使得阀盘被安置在阀座上的阀闭合状态被可靠、稳定地维持的需求。

本发明的主要目的是提供一种闸阀，这种闸阀能可靠、稳定地维持阀盘的阀闭合状态，同时压缩其高度尺寸从而有利于小型化闸阀。

本发明的闸阀配备有阀箱；阀盘，该阀盘能够移动以安置在形成在阀箱内的阀座上；阀杆，该阀杆被连接到阀盘上以可倾斜移动并且可沿直线移动阀盘；和驱动部，该驱动部被设置在与阀箱连接的壳体中用于在轴向方向上直线移动阀杆，这种闸阀包括：

支架(yoke)，该支架被连接到驱动部的驱动轴上，并且该支架可在驱动部的驱动作用下沿轴向方向移动；

位移构件，该位移构件可与支架整体移动，并且该位移构件在沿轴向方向的终端位置可倾斜；

接合构件，该接合构件被设置在位移构件的一侧上，并且其中具有孔，安装在位移构件上的第一辊被插入该孔内；

框架，该框架被设置成平行于阀杆的轴向方向，并具有沿轴向方向延伸的凹槽；

第二辊，该第二辊被设置在接合构件上，并被插入凹槽内；和

压力接收构件，该压力接收构件被设置成面朝凹槽，并且在阀盘安置在阀座上的阀闭合状态下抵靠第二辊，

其中，阀杆、位移构件和驱动部都平行地设置在壳体内，压力接收构件由具有比框架材料的硬度更大硬度的材料形成。

根据本发明，通过将驱动部设置成平行于阀杆和位移构件，对比于将驱动部和位移构件设置成在一条直线上的情形，可以压缩闸阀的高度尺寸，同时使得小型化闸阀成为可能。并且，若阀盘在阀闭合状态下被安置在阀座上，倾斜的位移构件通过接合构件强加在第二辊上的大致水平方向的负载能够被与第二辊抵靠的压力接收构件可靠地且合适地承受，从而可以可靠、稳定地维持阀闭合状态。

通过下面的描述，同时结合以说明性实例展示本发明优选实施例的附图，本发明的上述及其它目的、特征和优点将会变得更加明显。

附图说明

图1是根据本发明实施例的闸阀的整体垂直横截面图；

图2是图1中壳体附近的放大的横截面图；

图3是沿图1中线III-III剖开的横截面图；

图4是沿图1中线IV-IV剖开的横截面图；

图5是沿图1中线V-V剖开的横截面图；

图6是图4中闸阀的具有部分切除横截面的立体图；

图7是图5中闸阀的具有部分切除横截面的立体图；

图8是展示图3中阀盘和阀杆向上移动的阀打开状态的垂直横截面图；

图9是展示图4中阀盘和阀杆向上移动的阀打开状态的垂直横截面图；

图10是展示图5中阀盘和阀杆向上移动的阀打开状态的垂直横截面图；和

图11是展示图9中阀盘和阀杆向下移动，阀盘移动到阀箱内的状态的垂直横截面图。

具体实施方式

如图1-7所示，闸阀10配备有阀箱14、壳体16和缸组件18。在该阀箱14内形成有通道12，未图示的工件(例如半导体片)经过该通道12被送进送出；该壳体16被连接到阀箱14的上部；该缸组件18被用作驱动部，并且被设置在壳体16的内部。

闸阀10进一步地包括阀杆20、阀盘22、驱动转换器24和保持机构26。该阀杆20在缸组件18驱动作用下沿轴向方向(箭头A和B的方向)发生位移，并且相对轴向方向倾斜预定角度；该阀盘22被连接在阀杆20的一端上，并且能够阻塞且密封通道12；该驱动转换器24可将缸组件18的直线位移转化成阀杆20的倾斜运动；该保持机构26能通过阀盘22维持阻塞状态。