[发明专利]单晶体生产的装料方法及预装料坩埚

权利要求书

1.一种单晶体生产的装料方法，其特征在于，包括：

步骤一，向置于单晶炉外的石英坩埚装料；

步骤二，在已装好料的所述石英坩埚上加盖一与所述石英坩埚紧密扣合的便于吊车勾吊的预装料盖；

步骤三，使用吊车勾吊所述预装料盖以使与所述预装料盖扣合的所述石英坩埚缓慢提起，将所述石英坩埚放入单晶炉热场的石墨坩埚中；使所述预装料盖和所述石英坩埚脱离，再由吊车吊走所述预装料盖，完成单晶体生产的装料。

2.如权利要求1所述的单晶体生产的装料方法，其特征在于，所述预装料盖上设置有一与真空泵相连的阀门；在所述步骤二中，打开所述真空泵，并缓慢打开所述阀门，对所述石英坩埚内进行抽真空，直至达到所述预装料盖在吊运过程中能始终压紧在所述石英坩埚上的压力后关闭所述阀门并移去所述真空泵；在所述步骤三中，将所述石英坩埚放入单晶炉热场的石墨坩埚中后打开所述阀门，使大气缓慢进入所述石英坩埚，当所述石英坩埚的压力与大气压平衡后，所述预装料盖和所述石英坩埚脱离后吊走所述预装料盖。

3.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法，其特征在于，在所述步骤二中，当所述石英坩埚内的压力低于100Pa时，关闭所述阀门并移去所述真空泵。

4.如权利要求1或2所述的单晶体生产的装料方法，其特征在于，所述预装料盖上设有便于吊车勾吊的挂钩。

5.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法，其特征在于，所述预装料盖上还设置有用于在所述石英坩埚与所述预装料盖扣合后检测所述石英坩埚内气压的压力表。

6.如权利要求2所述的单晶体生产的装料方法，其特征在于，所述预装料盖与所述石英坩埚在扣合时的接触面上设有一密封圈；所述密封圈的内径小于所述石英坩埚的内径，外径大于所述石英坩埚的外径。

7.一种用于单晶体生产的装料方法的预装料坩埚，其特征在于，包括石英坩埚和与所述石英坩埚扣合以便于吊车勾吊的预装料盖，所述预装料盖上设置有一阀门，所述阀门与一在所述阀门打开时抽出所述石英坩埚内气体以使所述预装料盖与所述石英坩埚扣紧的真空泵连接。

8.如权利要求7所述的预装料坩埚，其特征在于，所述预装料盖上设有便于吊车勾吊的挂钩。

9.如权利要求7所述的预装料坩埚，其特征在于，所述预装料盖上还设置有用于在所述石英坩埚与盖上所述预装料盖后检测所述石英坩埚内气压的压力表。

10.如权利要求7所述的预装料坩埚，其特征在于，所述预装料盖与所述石英坩埚在扣紧时的接触面上设有一密封圈；所述密封圈的内径小于所述石英坩埚的内径，外径大于所述石英坩埚的外径。