[发明专利]一种PECVD承载盘传动轴密封装置

说明书

技术领域

本发明关于一种PECVD承载盘传动轴密封装置的方法。 

背景技术

当前，PECVD承载盘传动轴密封方式皆采用外购磁流体密封轴进行转轴密封，磁流体内部圆环形永久磁铁，极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。此结构复杂，外购单价高，通常一整条PECVD产线需要40~50具磁流体轴密封传动轴，如此一来建置成本相对增加，且磁流体密封传动轴会有退磁的风险，届时需要全部更新，对后续的维护保养上也增加相当大的成本。 

发明内容

本发明在于提供一种便捷密封的方式取代磁流体密封传动轴，节省建置成本，同时后续保养为后也相当简单。         

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其包括一腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈，传动轴凹型结构，以及传动轴外罩及外盖组成，传动轴外罩与外盖接触面上设有鸠尾槽内坎O型密封圈进行密封。组装时传动轴套上O型密封圈插入凹型结构内进行第一阶段密封，传动轴外罩及外盖组合上后形成第二阶段密封，同时外罩下方开有DN40抽气口连接真空帮浦进行抽气，使传动轴腔室内的气体被排出形成一定程度的压力完成传动轴密封功能。

    本发明有益效果为：1.本发明利用二阶段密封结构进行传动轴密封，结构简单，不需要安装市售磁流体密封轴。2.本发明利用O型密封圈进行密封，后续维护保养只需更换O型密封圈即可，节省保养成本。 

具体实施方式

 下面结合附图对本发明做进一步说明。 

请参阅第一图所示，一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其包括腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈11及传动轴凹型结构12，传动轴套入O型密封圈后插入传动轴凹型结构12，形成第一阶段的密封。请参阅第二图所示，传动轴外罩22设有鸠尾槽内坎O型密封圈21，同时外罩下方开有DN40抽气口23连接真空帮浦进行抽气。请参阅第三图所示，传动轴外盖31用以所固在传动轴外罩22上使其封合。传动轴外罩22安装置腔壁上与腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈11结合进行第二阶段密封，外盖在组合至传动轴外罩22并与鸠尾槽内坎O型密封圈21结合进行第三阶段密封，同时传动轴外罩22下方开有DN40抽气口23与真空帮浦连接，将传动轴腔室内的气体排出形成一定压力。 

综上所述，本发明在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且也非熟悉该项技艺者所易于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合发明专利之申请要件，惟上列详细說明系针对本发明之一可行实施例之具体說明，该实施例并非用以限制本发明之专利范围，而凡未脱离本发明技艺精神所为之等效实施或变更，均应包含于本案之专利范围中。 

主要组件符号说明 

11．．．腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈

12．．．传动轴凹型结构

21．．．鸠尾槽内坎O型密封圈

22．．．传动轴外罩

23．．．DN40抽气口

31．．．传动轴外盖。