[发明专利]声表面波器件、电子设备及传感器装置

权利要求书

1.一种声表面波器件，其特征在于，具有：

压电基板，其欧拉角为：(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))；

叉指换能器，其由被设置于所述压电基板的主面上的多个电极指构成，且激振阻带上限模式的瑞利波；

电极指间槽，其凹设在所述叉指换能器的相邻的所述电极指间的、所述压电基板的表面上，

所述瑞利波的波长λ与所述电极指间槽的深度G满足0.01λ≤G≤0.07λ的关系，

所述叉指换能器的线占有率η与所述电极指间槽的深度G满足下述式9以及式10的关系，即，

式9

-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0100λ≤G≤0.0500λ；

式10

-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，但是，0.0500λ＜G≤0.0695λ；

所述电极指的膜厚H和所述叉指换能器的线占有率η满足

(1)0.010λ≤H≤0.015λ、且0.575≤η≤0.741

(2)0.015λ≤H≤0.020λ、且0.605≤η≤0.744

(3)0.020λ≤H≤0.025λ、且0.605≤η≤0.745

(4)0.025λ≤H≤0.030λ、且0.575≤η≤0.745

中的任意一个。

2.如权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，

所述压电基板的欧拉角ψ在42.79°≤|ψ|≤49.57°的范围内。

3.如权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于，

所述压电基板的欧拉角ψ为|ψ|＝45°。

4.如权利要求1至3中任一项所述的声表面波器件，其特征在于，

所述叉指换能器的线占有率η在以该线占有率η(％)为纵轴、以所述电极指间槽的深度G(％λ)为横轴的正交坐标中，

(1)当所述电极指膜厚H为1.0～1.5％λ时，处于由将各点(0.74，1)、(0.75，2)、(0.74，3)、(0.735，4)、(0.741，5)、(0.73，6)、(0.73，7)、(0.575，7)、(0.615，6)、(0.64，5)、(0.66，4)、(0.675，3)、(0.703，2)、(0.725，1)连接起来而成的多角形所包围的范围内，

(2)当所述电极指膜厚H为1.5～2.0％λ时，处于由将各点(0.702，1)、(0.718，2)、(0.744，3)、(0.731，4)、(0.725，5)、(0.73，6)、(0.745，7)、(0.605，7)、(0.605，6)、(0.63，5)、(0.655，4)、(0.675，3)、(0.7，2)、(0.687，1)连接起来而成的多角形所包围的范围内，

(3)当所述电极指膜厚H为2.0～2.5％λ时，处于由将各点(0.718，2)、(0.744，3)、(0.731，4)、(0.725，5)、(0.73，6)、(0.745，7)、(0.605，7)、(0.605，6)、(0.62，5)、(0.645，4)、(0.669，3)、(0.695，2)连接起来而成的多角形所包围的范围内，

(4)当所述电极指膜厚H为2.5～3.0％λ时，处于由将各点(0.745，1)、(0.74，2)、(0.74，3)、(0.745，4)、(0.725，5)、(0.725，6)、(0.725，7)、(0.575，7)、(0.575，6)、(0.605，5)、(0.635，4)、(0.66，3)、(0.695，2)、(0.715，1)连接起来而成的多角形所包围的范围内。

5.如权利要求1至3中任一项所述的声表面波器件，其特征在于，

所述叉指换能器的线占有率η满足下述式11，即，

式11

η＝-1963.05×(G/λ)³+196.28×(G/λ)²-6.53×(G/λ)

  -135.99×(H/λ)²+5.817×(H/λ)+0.732

  -99.99×(G/λ)×(H/λ)。