[发明专利]图案修正装置及图案修正方法

说明书

技术领域

本发明涉及图案修正装置及图案修正方法，尤其涉及对形成于基板表面的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置及图案修正方法。

背景技术

由于使用喷墨装置在基板的表面描画图案的方法与其它描画方法相比，墨水的利用率较高，并能简化作业工序，因此，近来被应用在各种领域中。此外，喷墨装置包括压电型、加热型、静电吸引型等。由于静电吸引型的喷墨装置能描画出更微细的图案，因此，一直以来提出有各种装置(例如参照专利文献1)。

此外，在液晶显示器、等离子显示器、EL显示器等平板显示器领域，近年来，随着画面的大型化、高精细化，在形成于玻璃基板上的配线(电极)及液晶滤色器等中存在缺陷的可能性增高，为了实现成品率的提高，提出了许多使用喷墨装置的图案修正方法。

例如，在液晶显示器的玻璃基板的表面上形成有微细的配线。在该配线上存在断线部位(开放缺陷部)的情形下，从喷墨喷嘴对断线部位喷出导电性墨水(修正液体)来修正断线部位(例如参照专利文献2、专利文献3)。

此外，由于从静电吸引型的喷墨装置喷出的墨水带电，因此，在基板表面带有静电的情况下，基板与墨水会发生排斥，而使墨水散开(飞散)，在修正部的周围多产生飞散物。为此，存在将喷墨装置及基板收容于恒温槽，并将恒温室内维持成高湿度气氛，以使蓄积在基板表面的电荷放电的方法。

专利文献1：日本专利特开平2-225052号公报

专利文献2：日本专利特开平11-233009号公报

专利文献3：日本专利特许第4248840号公报

专利文献4：日本专利特许第4372101号公报

然而，在最近的平板显示器的制造工序中，存在尺寸超过3m×3m的基板，将这种大型的基板整体放入恒温槽内会导致装置的大型化，此外，恒温槽的控制也变得复杂，因此不甚理想。此外，若将图案修正装置整体收容在恒温槽内并置于高湿度气氛中，则还担心可能会对图案修正装置所包含的定位调节架等精密设备带来不良影响。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供在基板表面带电的情形下也能以简单的结构正确地修正缺陷部的图案修正装置及图案修正方法。

本发明的图案修正装置是对形成于基板表面的图案的缺陷部进行修正的图案修正装置，包括：局部提高缺陷部及其附近的湿度以除去缺陷部及其附近的静电的静电除去装置；以及对利用静电除去装置除去静电后的缺陷部喷出修正液体的液滴的静电吸引型的喷墨喷嘴。

作为优选，静电除去装置包括对缺陷部及其附近喷射加湿气体的加湿喷嘴。

此外，作为优选，静电除去装置还包括使气体通过水中以对气体进行加湿，并将加湿气体供给到加湿喷嘴的加湿装置。

此外，作为优选，静电除去装置通过局部提高缺陷部及其附近的湿度并在缺陷部及其附近的表面上形成水膜，来除去缺陷部的静电。

此外，作为优选，静电除去装置包括对缺陷部喷射加湿气体的加湿喷嘴，水膜是因加湿气体中含有的水在缺陷部凝结而形成的。

此外，作为优选，静电除去装置还包括使气体通过水中以对气体进行加湿，并将加湿气体供给到加湿喷嘴的加湿装置。

此外，作为优选，加湿装置包括：供使气体通过以用于加湿的水注入的容器；以及将容器内的水加热到规定温度以使加湿气体中含有的水在缺陷部凝结的加热器。

此外，作为优选，修正液体是非水溶性墨水。

此外，作为优选，在开始从加湿喷嘴喷射加湿气体之后，开始从喷墨喷嘴喷出修正液体的液滴，并在结束从喷墨喷嘴喷出修正液体的液滴之后，结束从加湿喷嘴喷射加湿气体。

此外，作为优选，从加湿喷嘴喷射的加湿气体的流量设定成使从喷墨喷嘴朝缺陷部喷出的修正液体的液滴不偏离缺陷部。

此外，作为优选，从加湿喷嘴喷射的加湿气体的流量设定成加湿喷嘴前端的每1mm²内径面积的流量在3ml/sec以下。

此外，作为优选，静电除去装置还包括设于加湿喷嘴的喷射口，使从加湿喷嘴喷射出的气流分散的多孔质构件。

此外，作为优选，在喷墨喷嘴的周围配置多个加湿喷嘴，多个加湿喷嘴对缺陷部均匀地喷射加湿气体。

此外，作为优选，加湿喷嘴的喷出口以围绕喷墨喷嘴的方式形成环状。

此外，作为优选，静电除去装置包括设于喷墨喷嘴附近，能吸收及放出加湿用的水的水吸收构件。

此外，作为优选，水吸收构件以围绕喷墨喷嘴的方式配置成环状。