[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵(1)，其带有至少一个具有作为泵装置的转子(2，3)的轴(4，5)、至少一个用于所述轴(4，5)的支承和/或驱动区域(8，9)以及至少一个汲取腔(7)，其中，在泵过程中介质通过所述转子(2，3)的旋转从所述汲取腔(7)的入口(10)被输送至所述汲取腔(7)的出口(11)，其特征在于，设置有至少一个气体输送装置(12，13)且所述气体输送装置(12，13)构造成用于从所述支承和/或驱动区域(8，9)离开地在至所述转子(2，3)和/或至所述汲取腔(7)的出口(11)的方向上输送所述介质。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述气体输送装置(12，13)布置在用于所述轴(4，5)的所述支承和/或驱动区域(8，9)与所述转子(2，3)之间，其中，优选地，所述气体输送装置(12，13)布置在限制所述汲取腔(7)的汲取腔壳体(6)内。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，气体输送装置(13)仅设置在所述真空泵的面对所述汲取腔(7)的出口(11)一侧处，且在所述真空泵的面对所述汲取腔(7)的入口(10)一侧处优选地仅扫气流被输送。

4.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，作为气体输送装置(12，13)设置有带有至少一个风扇叶轮(16，17)的风扇。

5.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述空气输送装置(12，13)由所述真空泵的轴(4，5)驱动且/或装配在所述轴(4，5)上。

6.根据权利要求2且必要时根据权利要求3至5中任一项所述的真空泵，其特征在于，所述气体输送装置(12，13)布置在所述转子(2，3)与所述汲取腔壳体(6)的外壁之间且所述轴(4，5)被引导穿过所述汲取腔壳体(6)。

7.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述汲取腔壳体(6)具有至少一个从轴套管(14)开始的用于冷凝物排出的排出斜面(29)，其中，优选地所述气体输送装置(13)的与所述汲取腔(7)背离的侧面以及所述汲取腔壳体(6)的毗邻的部分如此地成形，即，靠近轴的部分相应地比远离轴的部分更靠近地处于所述汲取腔(7)处。

8.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，设置有两个相应地具有至少一个转子(2，3)的轴(4，5)，其中，每个轴(4，5)关联有至少一个气体输送装置(12，13)，且其中，优选地，所述气体输送装置(12，13)共同作用为同步传动装置用于所述轴(4，5)的同步。

9.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，设置有到在所述支承和/或驱动区域(8，9)与所述汲取腔(7)之间的区域中和/或直接到所述支承和/或驱动区域(8，9)中的扫气供给。

10.一种真空泵(1)，其带有至少一个具有作为泵装置的转子(2，3)的轴(4，5)、至少一个用于所述轴(4，5)的支承和/或驱动区域(8，9)以及至少一个汲取腔(7)，其中，在泵过程中介质通过所述转子(2，3)的旋转从所述汲取腔(7)的入口(10)被输送至所述汲取腔(7)的出口(11)，尤其根据前述权利要求中任一项所述，其特征在于，通过布置在所述支承和/或驱动区域(8，9)与所述汲取腔(7)之间的间隙(15，14a)所述介质和/或扫气能够利用与所述间隙(14a，15)相连接的抽吸装置吸出。

11.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，设置有具有两个彼此同步地能够在相反方向上转动的转子(2，3)的轴(4，5)和构造用于磁驱动且用于所述轴(4，5)的磁同步的双轴同步电机。

12.根据权利要求11所述的真空泵，其特征在于，所述双轴同步电机和用于两个所述轴(4，5)的轴支承的支承件(22，23)布置在共同的支承和驱动区域(9)中。

13.根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其特征在于，设置有通到所述汲取腔(7)的入口(10)中的带有吸入阀(32)的吸入管(30)和/或与所述汲取腔(7)和/或与所述吸入管(30)相连接的带有扫气阀(33)的扫气管(31)，且设置有用于所述阀(32，33)的控制装置(34)。