[发明专利]一种碱性的清洗液无效
| 申请号： | 201110257761.1 | 申请日： | 2011-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN102968001A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 刘兵;彭洪修;孙广胜 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 清洗 | ||
1.一种碱性的清洗液，含有：水、醇胺、水溶性溶剂和3，4-二羟基苯甲酸，且不含有羟胺和氟化物。
2.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述水的含量为不少于5％、所述醇胺的含量为10～60％、所述水溶性溶剂的含量为10～50％、所述3，4-二羟基苯甲酸的含量为0.1～10％，上述含量为质量百分比含量。
3.如权利要求2所述清洗液，其特征在于，所述水的含量为10～30％、所述醇胺的含量为20～50％、所述水溶性溶剂的含量为20-40％、所述3，4-二羟基苯甲酸的含量为0.5～5％，上述含量为质量百分比含量。
4.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述的醇胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、乙基二乙醇胺、N-(2-氨基乙基)乙醇胺和二甘醇胺中的一种或多种。
5.如权利要求4所述清洗液，其特征在于，所述的醇胺为单乙醇胺、异丙醇胺和二甘醇胺中的一种或多种。
6.如权利要求1所述清洗液，其特征在于，所述的水溶性溶剂为亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醚中的一种或多种。
7.如权利要求6所述清洗液，其特征在于，所述的亚砜为二甲基亚砜；所述的砜为环丁砜；所述的咪唑烷酮为1，3-二甲基-2-咪唑烷酮；所述的吡咯烷酮为N-甲基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮；所述的咪唑啉酮为1，3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺为二甲基甲酰胺和/或二甲基乙酰胺；所述的醚为二乙二醇单烷基醚和二丙二醇单烷基醚。
8.如权利要求7所述清洗液，其特征在于，所述的二乙二醇单烷基醚为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚和二乙二醇单丁醚中的一种或多种；所述的二丙二醇单烷基醚为二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚和二丙二醇单丁醚中的一种或多种。
9.如权利要求6所述清洗液，其特征在于，所述的水溶性溶剂为二甲基亚砜、环丁砜与二乙二醇单丁醚及二丙二醇单甲醚中的一种或多种。
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