[发明专利]一种激光位移传感器控制的预对准方法

权利要求书

1.一种激光位移传感器控制的预对准方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）将待曝光制作的掩模板置于成像系统底部的高精准平台上，建立掩模板坐标，在掩模板坐标中以平行于掩模板两相对侧边方向为X向，平行于掩模板另外两相对侧边方向的为Y向，采用配置有激光位移传感器的CCD相机采集掩模板在高精准平台上的图像，调节高精准平台使CCD相机的坐标原点落入高精准平台中，并通过CCD相机采集图像并找到CCD相机的初焦面；

（2）移动高精准平台，激光位移传感器自动寻找高精准平台上掩模板某个边界，并通过CCD相机记录掩模板某个边界上一点在CCD相机坐标中的坐标值（X1，Y1）； 

（3）再次移动高精准平台，激光位移传感器自动寻找高精准平台上掩模板与步骤（2）中相同的某个边界，并通过CCD相机记录掩模板某个边界上另一点在CCD相机坐标中的坐标值（X2，Y2）；

（4）通过步骤（2）、步骤（3）分别测得的掩模板某个边界的坐标值，利用公式tanθ=(Y2-Y1)/(X2-X1)计算得到角度θ，然后利用高精准平台带动掩模板共同旋转θ角度以调平掩模板，调平后的掩模板其作为X向的两相对侧边与CCD相机坐标的X轴平行，作为Y向的两相对侧边与CCD相机坐标的Y轴平行；

（5）利用高精准平台带动掩模板沿CCD相机坐标的X轴方向来回移动，通过激光位移传感器配合CCD相机得到掩模板在CCD相机坐标中与CCD相机坐标X轴平行的两个侧边上各一点的坐标值（X3、Y3）、（X4、Y4），然后利用高精准平台带动掩模板沿CCD相机坐标的Y轴方向来回移动，通过激光位移传感器配合CCD相机得到掩模板在CCD相机坐标中与CCD相机坐标Y轴平行的两个侧边上各一点的坐标值（X5、Y5）、（X6、Y6）；

（6）利用步骤（5）采集到的掩模板四个侧边的坐标值，计算得到掩模板中心在CCD相机中的坐标（X0，Y0）。