[发明专利]光照射装置和光照射方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于形成线状图案的光照射装置和光照射方法，更具体地，涉及在例如图案化相位差薄膜的制造工序中用于向光聚合性液晶材料或光取向膜照射光的适当的光照射装置和光照射方法。

背景技术

3D影像显示装置是显现三维立体影像的装置，作为这种3D影像显示装置，以往开发出剧场用的装置和电视放映用的装置，在今后期待用于娱乐设施、店铺展示、医疗等用途，因此近年来引人注目。

图20是表示3D影像显示装置的一个例子的构成的概况的说明图。该3D影像显示装置的构成包括：交替配置右眼用影像发送部81和左眼用影像发送部82的液晶(LCD)制的3D影像发送部80；在该3D影像发送部80的前方设置的、由以位于右眼用影像发送部81的前方的方式配置的右眼用影像显示部86和以位于左眼用影像发送部82的前方的方式配置的左眼用影像显示部87所构成的3D影像显示体形成用薄膜85；和在3D影像发送部80的后方设置的光源88。该3D影像显示装置从右眼用影像发送部81发送右眼用影像，并且从左眼用影像发送部82发送左眼用影像，例如，右眼用影像被导入右眼用影像显示部86而原样被送至观察者，左眼用影像被导入左眼用影像显示部87而在将偏振光的振动方向旋转90°之后被送至观察者。而且，采用以下构成，观察者通过经由仅使右眼用影像透射的带偏振光片右眼用透镜和仅使左眼用影像透射的带偏振光片左眼用透镜所构成的偏振光眼镜来捕捉该偏振光的振动方向不同的右眼用影像和左眼用影像，从而在该观察者处将左眼用影像和右眼用影像的合成影像识别为一个立体影像。该3D影像显示装置在例如专利文献1中记载。

而且，在3D影像显示装置中，通过在观察者的左眼和右眼分别识别左眼用影像和右眼用影像，来在观察者的脑内识别立体影像，但是，为了区别左眼用影像和右眼用影像，而使用了图案化相位差薄膜。

此外，在液晶显示装置等中，作为提高其性能的方法，提出了使用具有液晶聚合物层的图案化相位差薄膜的方案(参照专利文献2)。

如图21(a)所示，对于在薄膜基材90上经取向膜91而形成的光聚合性液晶材料层92，经将线状的多个遮光部96和多个透光部97分别交替并排地配置而成的掩模95来照射光，从而如图21(b)所示，形成带状的图案的液晶聚合物层93，然后，除去残留的光聚合性液晶材料层92而得到这种图案化相位差薄膜。

在这种图案化相位差薄膜的制造中，为了通过将紫外线等活性能量线对光聚合性液晶材料层92在大范围内照射而提高量产性，而通常使用具备长弧型放电灯的光照射装置，将掩模95配置成遮光部96和透光部97延伸的方向(在图21中与纸面垂直的方向)与长弧型放电灯的长度方向正交。

但是，在这种光照射装置中，存在以下的问题。

即，由于长弧型放电灯是线光源，因此不能通过光学系统使从放电灯放射的光成为在该放电灯的长度方向上互相平行的平行光。因此，如图22所示，经透射掩模95的透光部97的光的一部分向掩模95在与其面方向斜交地入射，而向位于作为被照射物的光聚合性液晶材料层92的遮光部96的缘部的正下的区域照射，其结果，难以在掩模95的图案中形成具有忠实且析像度高的图案的液晶聚合物层93。

专利文献1：日本特开2002-185983号公报

专利文献2：日本特开2009-276664号公报

发明内容

本发明鉴于上述问题而完成，其目的是提供能在掩模的图案中形成忠实且析像度高的图案的光照射装置和光照射方法。

本发明的光照射装置，其特征在于，具备：光射出部，所述光射出部具有将多个光源元件在一个方向上并排地配置而构成的光源元件列，所述光源元件由短弧型放电灯、和以包围该放电灯的方式配置的将来自该放电灯的光反射的反射体构成；和掩模，所述掩模将分别在与上述一个方向垂直的方向上延伸的线状的多个遮光部和多个透光部在上述一个方向上交替并排地配置而构成，来自上述光射出部的光经上述掩模而照射在被照射物上。

在本发明的光照射装置中，优选的是，在上述光射出部和上述掩模之间的光路上配置有偏振元件。

此外，优选的是，还具备聚光部件，所述聚光部件将来自上述光射出部的光聚光为在上述一个方向上延伸的线状而经上述掩模照射在上述被照射物上。

另外，也可以是，上述反射体是具有以其光轴为中心的旋转抛物面状的光反射面的部件，上述聚光部件由具有剖面为抛物线状的光反射面的圆柱形反射镜构成。

再有，也可以是，上述反射体是具有以其光轴为中心的旋转抛物面状的光反射面的部件，上述聚光部件具有圆柱形凸透镜。