[发明专利]采用投影成像方式获取特定激光加工束斑的方法

权利要求书

1.一种采用投影成像方式获取特定的激光加工束斑的方法，其特征在于，在光刻版(1)上设计一系列的透光图形，通过驱动机构(2)移动光刻版(1)，以选择特定的光刻版透光图形，将选定的光刻版透光图形置于光束通路之中，经过了扩束、匀束、和初步整形的入射激光光束(5)从光刻版上面通过光刻版透光图形后，进入光刻版下面的投影成像透镜组(3)，入射激光光束(5)在投影成像透镜组(3)内投影成像于晶圆片(4)的表面，形成所需的激光作用束斑(7)；其中，在该光学投影成像系统中，以光刻版上的透光图形作为物，以晶圆片上的束斑为像。

2.根据权利要求1所述采用投影成像方式获取特定的激光加工束斑的方法，其特征在于，所述投影透镜组设计为单侧远心光路，在物方即光刻版一侧为远心，在像方即晶圆片一侧为非远心，通过设置晶圆片与投影透镜组的不同的聚焦位置，可调节成像倍率，从而获得可调尺寸的特定的激光束斑。

3.根据权利要求1所述采用投影成像方式获取特定的激光加工束斑的方法，其特征在于，所述光刻版上的透光图形与常规的线形的，或者矩形形状的激光束斑一样，采用梯形、或正多边形；其中正多边形为4、5、6、7或8边形；同样可以实现对晶圆片表面的激光加工。

4.根据权利要求1所述采用投影成像方式获取特定的激光加工束斑的方法，其特征在于，所述特定形状束斑是在光束处理的光路上设置相应形状的光束挡板机构，遮蔽掉一部分边缘光线而得到特定形状束斑。

5.根据权利要求1所述采用投影成像方式获取特定的激光加工束斑的方法，其特征在于，光刻版的掩蔽层上附加额外的散热片，增加其散热能力。