[发明专利]电阻加热式蒸发源

权利要求书

1.一种电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述蒸发源包括容纳蒸发物料(P)并设有坩埚蒸发口(11A)的坩埚(11)、围绕在所述坩埚(11)外围的加热单元、以及包围所述加热单元的源外壁(14)和蒸发源底部(16)；所述加热单元包括位于坩埚蒸发口(11A)外围，用于保证坩埚蒸发口(11A)的温度高于蒸发物料(P)凝点并独立控温的上部加热单元(12A)、位于坩埚(11)主体部分外围独立控温的下部加热单元(12)。

2.如权利要求1所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述位于坩埚(11)主体部分外围独立控温的下部加热单元(12)采用至少两段独立控温的加热单元。

3.如权利要求1或2所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述坩埚(11)内蒸发物料液面以上设有至少两个喷嘴圆盘(38、39)；所述喷嘴圆盘之间设有间隙。

4.如权利要求1所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述坩埚蒸发口(11A)采用束口蒸发结构。

5.如权利要求1所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述加热单元和蒸发源外壁(14)之间设有热屏蔽层(13)。

6.如权利要求5所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述热屏蔽层的材质为金属材料或不锈钢。

7.如权利要求5所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述热屏蔽层包括包围所述加热单元的上部热屏蔽层(13)、位于蒸发源底部上与上部热屏蔽层(13)构成隔热腔体的第一底部热屏蔽层(13A)以及位于蒸发源底部上和第一底部热屏蔽层(13A)之间的第二底部热屏蔽层(13B)。

8.如权利要求1所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述源外壁(14)与蒸发源底部(16)采用螺栓(17)联接。

9.如权利要求6所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述源外壁(14)为分段式；所述上部热屏蔽层(13)也对应的分段。

10.如权利要求1所述的电阻式加热蒸发源，其特征在于：所述源外壁(14)采用隔热保温材料。