[发明专利]改良的真空室角阀无效
| 申请号： | 201110165947.4 | 申请日： | 2011-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102220995A | 公开（公告）日： | 2011-10-19 |
| 发明（设计）人： | 阮佳龙;康进昌 | 申请（专利权）人： | 昆山振昆纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林;王寿刚 |
| 地址： | 215301 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改良 真空 室角阀 | ||
【权利要求书】：
1.一种改良的真空室角阀，其特征在于，该角阀包括：气缸（11），其固定于角阀体（10）上；进气口（19），其用于与真空室密封连接；抽气口一（14），其用于与外部机械泵密封连接；抽气口二（18），其作为分子泵（17）的出气口；以及密封片（15），其通过活动接头（16）安装于所述活塞杆（12）的顶端，该密封片（15）通过所述活塞杆（12）的压力可以密封住所述分子泵（17）的进气口；其中，所述活动接头（16）包括：连接槽（21），其位于所述密封片（15）的中部；弧形接头（20），其固定于所述活塞杆（12）的顶端，该弧形接头（20）被卡在所述连接槽（21）中且所述弧形接头（20）与连接槽（21）之间留有空隙。
2.根据权利要求1所述的改良的真空室角阀，其特征在于，所述活动接头（16）中，所述连接槽（21）为顶端开口的长方体。
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