[发明专利]湿蚀刻溶液有效
| 申请号： | 201110150434.6 | 申请日： | 2007-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN102225874A | 公开（公告）日： | 2011-10-26 |
| 发明（设计）人： | 罗贞仁;朴明国;梁浩锡 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;C03C25/68;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;王春伟 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 溶液 | ||
【权利要求书】：
1.一种湿蚀刻溶液，包含：
氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；
氟化铵，所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1％～10％；
具有至少一个羧基的有机酸，所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；
醇，所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30％～50％；和
水，
其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1～1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。
2.根据权利要求1所述的湿蚀刻溶液，其中所述有机酸包括乙酸、柠檬酸、戊二酸、乙醇酸、甲酸、乳酸、苹果酸、马来酸、草酸、酞酸、琥珀酸、酒石酸和/或丙酸中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的湿蚀刻溶液，其中所述醇包括甲醇、乙醇、丁醇和/或异丙醇中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的湿蚀刻溶液，其中所述金属硅化物包括硅化钨、硅化钛、硅化钼、硅化镍、硅化钽和/或硅化铜中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的湿蚀刻溶液，其中所述硅氧化物是硼磷硅酸盐玻璃。
6.一种使用根据权利要求1所述的湿蚀刻溶液来选择性蚀刻硅氧化物层的方法。
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