[发明专利]微结构立体浮雕图文制版方法及装置有效
| 申请号: | 201110115882.2 | 申请日: | 2011-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN102183878A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
| 发明(设计)人: | 江明聪 | 申请(专利权)人: | 中丰田光电科技(珠海)有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 温旭 |
| 地址: | 519040 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 微结构 立体 浮雕 图文 制版 方法 装置 | ||
1.一种微结构立体浮雕图文制版装置,其特征在于:包括控制电脑、X-Y-Z轴信号扫描器、X-Y移动平台、光束能量控制器、高能光束产生器、光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器、自动对焦装置及用于设置光阻玻璃的固定平台;控制电脑与X-Y-Z轴信号扫描器信号连接,X-Y-Z轴信号扫描器分别与光刻角度旋转器、光束能量控制器及X-Y移动平台信号连接,光束能量控制器与高能光束产生器信号连接,高能光束产生器的输出端由近及远顺序设置光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器及自动对焦装置,高能光束产生器、光圈控制器、光刻角度旋转器、光束往复扫描器及自动对焦装置均架设于X-Y移动平台的X轴上,X轴连同其上架设的各装置整体架设于X-Y移动平台的Y轴上,X-Y移动平台架设于放置有光阻玻璃、感光涂层或塑料的固定平台上。
2.根据权利要求1所述的微结构立体浮雕图文制版装置,其特征在于:所述高能光束产生器为激光器。
3.根据权利要求1所述的微结构立体浮雕图文制版装置,其特征在于:所述高能光束产生器为电子束发生器。
4.根据权利要求1、2或3所述的微结构立体浮雕图文制版装置,其特征在于:所述光圈控制器包括一孔径可调节的光束孔。
5.一种采用权利要求4所述的微结构立体浮雕图文制版装置的制版方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、高能光束产生器产生高能量的单一光束;
S2、调节光圈控制器的光束孔孔径,使高能光束产生器产生的高能光束通过该光束孔后成为制版所需要的解析度的粗细的光束;
S3、控制电脑输出BMP图档信号至X-Y-Z轴信号扫描器,X-Y-Z轴信号扫描器读取该图档信号的灰阶或彩色图案, 以及深度图案;每一个灰阶或是颜色对应为一个角度, 将灰阶或是彩色图案转化为角度, 此角度代表刻平行光刻纹路的角度, X-Y-Z轴信号扫描器将此角度讯号传给光刻角度旋转器;X-Y-Z轴信号扫描器将深度图案数据传送给光束能量控制器, 以控制高能光束产生器的输出的功率,从而控制刻纹的深度;同时,每一个灰阶点或是彩色点在图档内代表了X, Y的座标, 表示该点的位置, X-Y-Z轴信号扫描器定位出该灰阶点或是彩色点的(X, Y)座标, 并将该坐标信号传输至X-Y移动平台,使X-Y移动平台移动到相对应的座标;
S4、光束往复扫描器内设的光学镜片的微幅摆动, 使高能光束在很小的范围内往复移动并经自动对焦装置对焦,在设置于固定平台上的光阻玻璃、感光涂层或塑料上表面刻画出平行的条纹。
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