[发明专利]用于过程质谱仪的气体进入装置

权利要求书

1.一种用于过程质谱仪的进入装置，所述进入装置包括：

与样本气体供给装置流体连通的毛细管；

与所述毛细管流体连通的输送管路；

第一孔口，所述第一孔口被构造成使产生压力变化，所述孔口包括至少两个测量口；

压力传感器，所述压力传感器操作性地连接到所述两个测量口中的至少一个；和

与所述第一孔口流体连通的第二输送管路，所述第二输送管路还与外部处理点流体连通。

2.根据权利要求1所述的进入装置，其中，所述毛细管包括大约75微米的内径。

3.根据权利要求2所述的进入装置，其中，所述毛细管的长度在大约5.0毫米与大约12.0毫米之间。

4.根据权利要求1所述的进入装置，其中，所述毛细管设置在多流股选择器上。

5.根据权利要求1所述的进入装置，其中，所述压力传感器包括差压传感器。

6.根据权利要求1所述的进入装置，其中，所述输送管路包括大约2.0毫米的内径。

7.根据权利要求1所述的进入装置，还包括：

与所述输送管路流体连通的真空泵；

中间点，所述中间点设置在所述真空泵与所述输送管路之间；和

与所述中间点和所述离子源流体连通的第二孔口。

8.根据权利要求7所述的进入装置，其中，所述真空泵通过旁通管路连接到所述中间点。

9.根据权利要求8所述的进入装置，其中，所述旁通管路包括大约8.0毫米的内径。

10.一种用于过程质谱仪的进入装置，所述进入装置包括：

第一段，所述第一段具有与样本气体供给装置流体连通的毛细管、第一孔口和压力传感器；和

第二段，所述第二段具有第二孔口，

其中，所述第一段和所述第二段与离子源流体连通。

11.根据权利要求10所述的进入装置，还包括：

中间点，所述中间点设置在所述第一段与所述第二段之间。

12.根据权利要求10所述的进入装置，其中，通过所述毛细管的流体流是粘滞流，而通过所述第二孔口的流体流是分子流。

13.一种将样本流体引入到离子源的方法，所述方法包括以下步骤：

通过毛细管从供给装置输送所述样本流体；

产生压力变化；

测量所述压力变化；

将所述样本流体输送到第二孔口；以及

将所述样本流体引入到所述离子源。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤：

将所述样本流体从所述毛细管输送到中间点。

15.根据权利要求13所述的方法，其中，通过所述毛细管的流体流是粘滞流，而通过所述第二孔口的流体流是分子流。

16.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第二孔口中的样本流体的流量与流出所述离子源的流量基本上相同。

17.根据权利要求13所述的方法，其中，样本流体的流量在0.1升/分种与4.0升/分种之间。

18.根据权利要求13所述的方法，还包括以下步骤：

调节所述毛细管和旁通管路中的所述样本流体的流动特性；以及

将优化后的压力传送到所述第二孔口。

19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述优化后的压力将所述样本流体引入到所述离子源，所述离子源对于所有组成来说具有基本上相同的压力和与所述供给装置中的流体流基本上相同的组成。