[发明专利]等离子体生成设备

权利要求书

1.一种设备，包括：

定义内腔(144)和纵轴的环状主体(142)，所述环状主体具有沿所述纵轴的主体长度；

同轴设置在所述内腔内的电极(146)，所述电极在所述主体中延伸至少为所述主体长度的大约50％的电极长度；以及

设置在所述环状主体与所述电极之间的消融材料部分(152)。

2.如权利要求1所述的设备，其中，所述电极具有小于或等于所述环状主体的内径的大约50％的直径。

3.如权利要求1所述的设备，其中，所述环状主体包括相对的第一端和第二端(138，140)，并且所述电极从所述第一端延伸到所述环状主体中，所述设备还包括设置在所述第二端的喷嘴(147)。

4.如权利要求1所述的设备，其中，所述环状主体和所述电极配置成作为阴极和阳极中的一个和另一个被充电。

5.如权利要求1所述的设备，其中，所述环状主体和电极被集成到等离子体生成装置(134)中，所述设备还包括主电极(128)，其中所述等离子体生成装置与所述主电极分隔至少大约30mm，并且配置成发射等离子体，以便一般占据所述等离子体生成装置与所述主电极之间的空间。

6.如权利要求1所述的设备，其中，所述电极包括主区域(146a)和发起区域(146b)，所述发起区域的至少一部分设置成比所述主区域更靠近所述环状主体。

7.如权利要求1所述的设备，其中，所述消融材料部分设置在所述环状主体的内壁(143)的大约50％至大约90％之上。

8.如权利要求1所述的设备，还包括：能量源(148)，所述能量源(148)连接到所述环状主体和所述电极，并且配置成维持所述环状主体与所述电极之间的电弧。

9.如权利要求8所述的设备，其中，所述能量源配置成产生小于或等于大约1kV的电压以及至少大约4kA的电流。

10.如权利要求1所述的设备，其中，所述环状主体和所述电极经过配置，使得当电弧存在于所述环状主体与所述电极之间时，所述消融材料部分经受消融。