[发明专利]匣钵的破损检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及匣钵的破损检测方法。

背景技术

在对电子工业制品的原料粉体进行烧成时，通常在称为匣钵的窑具(kiln furniture)的内部放入粉体并进行烧成(例如，专利文献1)。在工业生产中进行连续烧成，从形成有规定的烧成温度曲线的连续炉的一端向炉内依次放入匣钵，并在炉内移动的同时进行烧成，然后从另一端取出。

就从烧成炉的另一端取出的匣钵而言，除了通过粉体回收工序、空匣钵的清洁工序以及空匣钵的破损等老化检测工序来检测到破损等老化的匣钵之外，再次用作新的原料粉体烧成用匣钵。

在现有技术中的老化检测工序中，对匣钵的4个侧面和底面的各面分别进行激光传感器扫描测定，所以需要设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间，所以存在粉体烧成用设备的整体结构变得复杂的问题。

另外，激光传感器扫描测定是根据所投射的激光在该激光传感器与匣钵之间往复的时间来计测距离的测定，具有无法测定破损前阶段的裂纹(例如，0.5mm左右的裂纹)的缺陷。进而，在进行激光传感器扫描测定时，不是测定匣钵的整个面，而是以容易发生老化的部位为中心照射激光，所以也可能会发生漏检，所以存在检测精度变差的问题。

现有技术文献(专利文献)

专利文献1：JP特开2009-292704号公报

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种不设置具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间也能够高精度地检测破损前阶段的裂纹的匣钵的破损检测方法。

用于解决上述问题的本发明的匣钵的破损检测方法的特征在于，在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩内的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损。

若采用本发明的匣钵的破损检测方法，则在负压空间形成单元的支撑板上支撑配置前工序中回收了粉体的匣钵，使该匣钵的开口部朝下，并使能够容纳匣钵的罩与该支撑板的上面相密合，在负压空间形成单元的内部得以减压的状态下，利用设置在负压空间形成单元内部的喷嘴从下方向匣钵内部喷出空气，从而清除附着在匣钵内部的粉体，同时，对罩的内压进行测定，并根据该内压的变动来检测匣钵是否破损，由此也能够高精度地检测在现有的激光传感器扫描测定中检测不到的破损前阶段的裂纹。另外，若采用上述结构，则在清除附着于匣钵内部的粉体的同时还能够检测匣钵的老化，所以能够省略在现有的老化检测中所需的具有多个激光传感器、匣钵的定位装置等设备的激光传感器扫描测定专用空间，从而能够缩短工序。

附图说明

图1是用于说明在本发明的匣钵的破损检测方法中使用的装置的剖视图。

图2是用于说明图1的使用状态的图。

附图标记说明

1  负压空间形成单元

11 空气抽吸单元

12 支撑板

13 粉体排出口

2  空气喷射单元

21 气缸

22 气密填料

3  罩

31 气压测定单元

4  匣钵

5  密封件

具体实施方式

下面，示出了本发明的优选实施方式。图1是用于说明在本发明的匣钵的破损检测方法中使用的装置的剖视图，图2是用于说明图1所示装置的使用状态的图，而且，在各附图中，1表示负压空间形成单元，2表示空气喷射单元，3表示罩，4表示匣钵。

在经过烧成工序后从烧成炉的另一端取出的匣钵内的粉体，通过匣钵的翻转、借助粉体抽吸装置的抽吸等方法来从匣钵4得以回收。如图1所示，回收了粉体后的空匣钵4配置在负压空间形成单元1的支撑板12的上部，而且该空匣钵4的开口部朝下。负压空间形成单元1和匣钵4的开口部具有中间夹着密封件5相密合的结构。负压空间形成单元1的形状为漏斗状，在上端部具有空气抽吸单元11，在下端部具有粉体排出口13。另外，负压空间形成单元1在内部空间具有空气喷嘴等空气喷射单元2，能够利用该空气喷射单元2来向匣钵4的内部喷射空气。

空气喷射单元2具有借助气密填料22能够在负压空间形成单元1的内部空间滑动的结构，并具有用于实现滑动操作的气缸21。