[发明专利]一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置

权利要求书

1.一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，它主要包括烟气进气管和盐酸输出管，其特征在于：烟气进气管与喷淋单元一端相连，喷淋单元的另一端设有烟气输出管，盐酸输出管与增浓单元相连，喷淋单元与增浓单元之间通过循环管和喷淋管相连。

2.根据权利要求1所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：喷淋单元由1个喷淋塔构成，增浓单元由1个增浓罐构成，喷淋塔与增浓罐之间通过循环管和喷淋管连接后形成一个循环的回路，增浓罐的底部与盐酸输出管相连，该增浓罐还设有一盐酸浓度计和一液位计。

3.根据权利要求1所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：喷淋单元由至少2个喷淋塔串联而成，喷淋塔与喷淋塔之间通过烟气管相连，增浓单元由至少2个增浓罐串联而成，喷淋塔与增浓罐一一对应设置，每个喷淋塔与增浓罐之间通过循环管和喷淋管连接后形成一个循环的回路。

4.根据权利要求3所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：增浓单元由2－12个增浓罐串联而成，其中有一个增浓罐的底部与盐酸输出管相连，该增浓罐还设有一盐酸浓度计。

5.根据权利要求3所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：每个增浓罐连接有一补水管，补水管上设有一补水阀，每个增浓罐一侧设有一液位计。

6.根据权利要求1所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：喷淋管上设有喷淋泵，盐酸输出管上设有盐酸输出电动阀。

7.根据权利要求1所述的一种从多晶硅废气和废液中回收盐酸的装置，其特征在于：烟气输出管上设有一引风机。