[发明专利]一种射频放电等离子体自偏置探针诊断方法

权利要求书

1.一种射频放电等离子体自偏置探针诊断方法，其特征在于：在等离子体中放置两根探针：探针a(1)和探针b(2)，探针a(1)相对于等离子体放电回路处于浮动状态，探针b(2)通过隔直电容(5)和取样电阻(10)连接放电回路地(9)；探针上不加直流或交流偏置电压；

测量探针a(1)和探针b(2)之间的电压交流成分振幅ΔV、探针b(2)电流的一次谐波振幅|i_1ω|和二次谐波振幅|i_2ω|，利用ΔV、|i_1ω|和|i_2ω|计算得出电子温度T_e和离子密度n_i；

计算公式分别是：

|i_1ω|/|i_2ω|＝I₁(eΔV/T_e)/I₂(eΔV/T_e)(1)

ni=|i1ω|Mi1.22eAkTeI0(eΔV/Te)I1(eΔV/Te)---(2)]]>

上面两式中，I₀、I₁和I₂分别是零阶、一阶和二阶修正贝塞尔函数；e是电子电量，单位为库仑；A是探针表面积，单位为平方米；M_i是离子的质量，单位为千克；k＝1.38×10^-23J/K是波尔兹曼常数；ΔV单位为伏特；|i_1ω|和|i_2ω|单位为安培；T_e和n_i单位分别是开尔文和个每立方米。