[发明专利]一种安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种安装装置，尤其是涉及干式蚀刻电极安装的一种安装装置。

背景技术

在一般的安装装置中，要把干式蚀刻机的电极安装到斜面基座上，至少需要两个工作人员一起完成。电极体积、重量都比较大，一个工作人员难以独自完成安装工作，需要一个工作人员扶着电极，另一个工作人员用脚顶住电极下方，一起将电极装到斜面基座上。这样一来，原本清理干净的安装平台就会因为鞋子的污染而粘上尘粒，需要再次清理。另外，在锁上电极时与基座螺丝孔不太好对准，长此以往，很容易造成电极孔与基座螺丝孔的损耗。不仅浪费人力资源，对机械的长久使用也没有好处。

有鉴于此，设计出一种耗费资源少，操作起来又简单准确的电极安装装置势在必行。

发明内容

针对现有电极安装装置耗费人力，不清洁，精确度不高的问题，本发明提供一种安装装置。

根据本发明，提供一种安装装置，包括底座，侧壁，抵住件，支撑件和弹簧。其中，底座具有第一通孔及第二通孔；侧壁上具有一容置空间，放置斜面基座，基座表面具有四个螺丝孔；抵住件包括螺设于所述第一通孔内的调节件，以及设置于所述调节件之上的抵住部，并藉由调节件调节其高低；支撑件，用来承载与基座结合的电极，包括螺设于所述第二通孔内的支撑柱，以及设置于所述支撑柱之上的支撑板；弹簧，设置于所述抵住部及所述支撑板之间。

优选地，安装装置的第一通孔有两个，分别位于所述第二通孔的两边；

优选地，安装装置的基座表面上的螺丝孔位于所述基座上下左右四个方位；

优选地，安装装置的基座表面上的螺丝孔未穿透所述基座；

优选地，安装装置的调节件上部具有钢珠，下部具有六角扳手孔；

优选地，安装装置的抵住部与所述底座之间具有一定的距离；

优选地，安装装置的支撑柱位置不可调节；

优选地，安装装置的支撑板可承载一块以上的电极；

优选地，安装装置的弹簧承重为10公斤至20公斤；

优选地，安装装置的弹簧依重量需要可更换。

采用本发明的安装装置，不仅可以把参与安装的工作人员数量控制在一人以内，还可以避免因使用脚力造成的机械污染，同时，精准的微调设置可大大减少人力安装时造成的机械损耗，将成本降到最低。

附图说明

读者在参照附图阅读了本发明的具体实施方式之后，将会更清楚地了解本发明的各个方面。其中，

图1示出了依据本发明，安装装置的示意图；

图2示出了依据本发明，安装装置上锁的示意图。

具体实施方式

下面参照附图，对本发明的实施方式作进一步的详细描述。

图1示出了安装装置的示意图。如图所示，此安装装置包括：底座100，底座100上具有第一通孔101和第二通孔102；侧壁200，侧壁200具有一容置空间，用于安放基座600，基座600上具有螺孔802用于电极的固定；抵住件300，包括螺设于第一通孔101内的调节件301，以及设置于调节件301之上的抵住部302，抵住部302藉由调节件301调节其高低；支撑件400，包括螺设于第二通孔102内的支撑柱401，以及设置于支撑柱401之上的支撑板402，其中，支撑板402用于放置带有螺孔801的电极700。

在此，调节件301具有螺纹321与第一通孔101内的螺纹(未绘示)螺合，元件钢珠311存在于调节件301上部，调节件301下端具有六角扳手孔(未绘示)，藉由六角扳手插入六角扳手孔转动调节件301，使螺纹321在第一通孔101内的螺纹上转动而升降调节件301，以调整抵住件300的高度。

将所需电极700放置于支撑板402上后，支撑板402受力，弹簧500承重压缩，抵住部302应力下沉，在本实施例中，该安装装置的较佳使用状态是放置电极700后，电极700上的螺孔801略高于基座600上的螺孔802，如果此时电极700上的螺孔801位置大大低于基座600上螺孔802的位置时，上调调节件301带动抵住部302上升，通过弹簧500和支撑板402的受力传导，至电极700上的螺孔801略高于基座600上的螺孔802时停止。弹簧500的选用可根据电极700的重量而选用不同承重能力的弹簧，一般而言，选用弹簧的承重能力为10公斤至20公斤。

若放置电极700后，电极700上的螺孔801位置大大高于基座600上螺孔802的位置，可更换承重力小的弹簧，或籍由调节件301下调抵住部302，调整至电极700上的螺孔801略高于基座600上的螺孔802。亦可同时安装具有不同承重力的弹簧，以方便操作。