[发明专利]含磷废水的处理装置及处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及含磷废水的处理装置及处理方法。

背景技术

液晶面板的制造工序中有对形成于玻璃基板上的栅电极等金属膜进行刻蚀的工序等各种刻蚀工序，作为其刻蚀液使用磷酸等含磷的酸性药品。所使用的酸性药品有时也直接以液体的状态进行回收、循环使用，但由于多数情况是与其他药品混合后使用，因此多利用废水处理装置进行无害化处理。

作为对该含磷的废水进行无害化的方法，有效的是利用碱剂的中和处理，特别是作为碱剂(或中和剂)广泛使用消石灰(氢氧化钙)。作为利用这种方法使处理水的磷浓度达到放流标准以下的技术，例如有与pH调节剂一起添加金属成分为铁的金属盐等无机系凝聚剂、将磷成分凝聚化的技术。但是，这种处理中，无机系凝聚剂所含的金属离子会作为污泥中的杂质存在，在此状态下作为废弃物进行处置时存在问题，当然也无法将污泥转用为肥料。

另外，作为对不仅含磷、还含氟的废水进行处理的技术，有向含氟和磷的废水提供钙化合物以形成沉淀物的技术、在通过对处理水进行固液分离所分离的分离水中添加铝化合物以形成沉淀物的技术。但是，为了不仅处理磷、还要处理氟，需要提供大量的钙化合物，而且会产生大量的污泥。另外，氟或铝作为污泥中的杂质存在，在此状态下直接作为废弃物进行处置时存在问题，当然也无法将污泥转用为肥料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-333467号公报

专利文献2：日本特开2008-194585号公报

发明内容

发明预解决的课题

本发明的目的在于提供能够对杂质少且含高浓度的磷的污泥进行回收的含磷废水的处理装置及处理方法。

用于解决课题的方法

本发明提供一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备用于对用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水进行中和的中和槽、用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽、将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽、和对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机。

本发明还提供一种含磷废水处理装置，其特征在于，其具备用于将用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水暂时存储的第1原水槽、用于对从上述第1原水槽送液的含磷废水进行中和的中和槽、用于使利用上述中和槽进行了中和处理的废水中所含的磷化合物凝聚的凝聚槽、将上述凝聚槽的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥的沉淀槽、对在上述沉淀槽中沉淀的污泥的至少一部分进行脱水的脱水机、将有机系废水暂时存储的第2原水槽、将从上述第2原水槽送液的有机系废水和在上述沉淀槽中分离的处理水混合的pH调节槽、和对从上述pH调节槽送液的处理水进行生物学处理的生物学处理槽。

本发明还提供一种含磷废水处理方法，其特征在于，向用不同于含氟废水的系统回收的含磷废水中注入中和剂以使磷化合物析出，向利用上述中和剂进行了中和处理的废水中注入高分子凝聚剂以使磷化合物凝聚，将利用上述高分子凝聚剂进行了凝聚处理的废水分离为处理水和含有磷化合物的污泥，然后对所分离的污泥的至少一部分进行脱水、回收。

附图说明

图1为概略地表示本实施方式的含磷废水的处理装置的构成的图。

图2为用于说明生成含磷废水的过程的图。

具体实施方式

以下参照附图详细地对本实施方式进行说明。需要说明的是，对各图中发挥相同或类似功能的构成要素使用相同的参照符号，并省略重复的说明。

图1为概略地表示本实施方式的含磷废水的处理装置1的构成的图。即。这里所示的含磷废水处理装置1具备原水槽11、中和槽12、凝聚槽13、沉淀槽14和脱水机15。

原水槽(第1原水槽)11将送液至中和槽12的含磷废水暂时存储。这种含磷废水为用不同于含氟废水的系统进行回收而得到的。这里的含磷废水例如是刻蚀液等的废水，在不会与氢氟酸等含氟废水混合的情况下进行回收。即，在存储于该原水槽11的含磷废水中不含氟。当然，该含磷废水中也不含重金属。该原水槽11借助于用来对含磷废水进行送液的流路P1与中和槽12相连接。

其中，还可设置向从原水槽11送液至中和槽12的含磷废水中注入pH调节剂的pH调节剂注入装置21。该pH调节剂注入装置21中，例如注入硫酸作为pH调节剂。这种pH调节剂注入装置21一边监视通过流路P1送液的含磷废水的pH、一边向含磷废水中适当地注入pH调节剂。