[发明专利]刻划装置

说明书

技术领域

本发明关于于玻璃基板、半导体基板、薄膜太阳电池的基板等脆性材料形成刻划槽的刻划装置。

背景技术

以往的刻划装置例如专利文献1所示，具备在使玻璃基板、半导体基板、薄膜太阳电池的基板等脆性材料保持为水平的状态下移送的支持台、跨支持台被设置的桥部、可滑动地安装于桥部的刻划头，于此刻划头的前端设有刻划加工用的刀具。刀具其刃前缘的方向(相对于脆性材料的相对进行方向)可调整为相对脆性材料的移送方向为既定的角度。此外，通过在使刻划头下降以将轮的刃前缘按压于脆性材料的状态下使脆性材料移送并使刻划头在桥部上滑动，可于脆性材料形成相对脆性材料的移送方向成既定的角度的刻划槽。

为了于脆性材料精度良好地形成刻划槽，于刻划装置的作业开始时或维护时，必须先将脆性材料的移送方向与刃前缘的方向所成角度调整为既定的角度。因此，利用准备已被加工为既定的角度的治具，通过手动补正桥部相对支持台的位置来进行角度调整。具体而言，于支持台的既定的位置配置治具，以将治具的已被加工为既定的角度的部分按压桥部来调整桥部相对支持台的角度。

专利文献1：日本发明专利第3078668号公报

发明内容

[发明欲解决的课题]

在如上述的以往的刻划装置，即使在作业开时或维护时先将脆性材料的移送方向与刃前缘的方向所成角度调整为既定的角度的场合，随着重复形成刻划槽的作业，可能因刻划槽形成时的振动而于桥部相对支持台的位置有变位产生，于脆性材料的移送方向与刃前缘的方向所成的角度从设定角度变动。此外，亦可能因设置有刻划装置的环境(例如温度或湿气)而于桥部本身有变形产生，于脆性材料的移送方向与刃前缘的方向所成的相对角度从已预先设定的既定的角度变动。

若有此种定角度的变动产生，便无法持续精度良好地形成刻划槽。因此，在以往的刻划装置会有若于设定角度有变动产生，便有再度使用治具以手动重新进行角度的调整的必要，维护作业变烦杂的问题。

此外，在形成较大宽度的刻划槽，例如40μm程度的刻划槽的刻划装置中，在手动再调整脆性材料与刃前缘的方向所成的角度的场合可以充分的精度形成刻划槽。然而，在形成如10μm以下的宽度较窄的刻划槽的刻划装置中，手动再调整脆性材料的移送方向与刃前缘的方向所成的角度本身便为困难，无法持续精度良好地形成刻划槽。

此外，在一般的刻划装置如专利文献1所示，具备刻划头的桥部设为跨支持台，通过使保持脆性材料的支持台于对桥部正交的方向(称为Y方向)移送，于脆性材料形成Y方向的刻划槽。此外，通过使刻划头于沿桥部的方向(称为X方向)滑动，于脆性材料形成X方向的刻划槽。因此，在形成X方向或Y方向的刻划槽后形成Y方向或X方向的刻划槽的场合，每次皆有将刀具的刃前缘的方向重新安装为沿刻划方向或使脆性材料在支持台上90度旋转重置的必要，其作业非常烦杂。

针对此问题，本发明的第1目的在于提供可解决上述以往课题，简化维护作业，持续精度良好地形成刻划槽的刻划装置。

另外，本发明的第2目的在于提供不必重新安装刀具或重置应加工的脆性材料便可容易且迅速地进行相异的二方向的刻划槽的刻划装置。

[解决课题的技术手段]

为了解决上述课题而被完成的本发明的一种刻划装置是由保持脆性材料的支持台、跨支持台被平行配置且分别具备刻划头的一对桥部、读取设于支持台上的对准标记的光学读取部、使桥部变位移动以调整支持台与刻划头的相对位置的移动调整机构、根据对准标记的变位信息控制前述移动调整机构的动作以使设于刻划头的刀具的刃前缘的方向朝向既定的方向的控制部构成；被配置为安装于一桥部的刻划头的刀具的刃前缘的方向与安装于另一桥部的刻划头的刀具的刃前缘的方向朝向彼此正交的方向。

[发明的效果]

在本发明由于是利用控制部根据以光学读取部读取的对准标记的变位信息使前述移动调整机构动作以使刃前缘的方向与脆性材料的相对移送方向所成的角度为既定的角度，自动补正支持台与刻划头的相对位置，故使用治具再调整的必要消失，可简化维护作业并持续精度良好地形成刻划槽。

此外，在本发明由于设置二个桥部且被配置为安装于一桥部的刻划头的刀具的刃前缘的方向与安装于另一桥部的刻划头的刀具的刃前缘的方向朝向分别正交的方向，故在对脆性材料于彼此正交的X、Y方向形成刻划槽的场合，通过使安装于一桥部的刻划头的刀具的刃前缘朝向X方向并使安装于另一桥部的刻划头的刀具的刃前缘朝向Y方向，只要选择任一桥部，不必重新安装刀具便可形成X方向及Y方向的刻划槽，具有可容易且迅速地进行形成相异的二方向的刻划槽的作业的优良效果。