[发明专利]涂覆的X-射线窗口有效
申请号: | 201080070417.5 | 申请日: | 2010-12-03 |
公开(公告)号: | CN103238201A | 公开(公告)日: | 2013-08-07 |
发明(设计)人: | 奥斯卡·汉伯格;汤米·图希玛 | 申请(专利权)人: | 伊克斯拉姆公司 |
主分类号: | H01J35/18 | 分类号: | H01J35/18 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 周靖;郑霞 |
地址: | 瑞典*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 射线 窗口 | ||
1.一种用于将环境压力区域(14)与减压区域(10)分开的X-射线窗口(1),所述窗口包括:
对X-射线透明的主窗口元件(22),所述对X-射线透明的主窗口元件将所述环境压力区域与中间区域(12)分开;
辅助窗口元件(70),所述辅助窗口元件将所述中间区域与所述减压区域分开,所述辅助窗口元件包括面向所述减压区域用于接收沉积在其上的污染物的一侧(78);及
加热装置(26,28,30),所述加热装置用于在所述辅助窗口元件的区域之间施加电压,从而蒸发沉积在其上的污染物,
其特征在于,所述辅助窗口元件包括:
电绝缘层(74);
电荷漏层(76),所述电荷漏层面向所述减压区域,并被连接到电荷接收器;以及
加热器层(72),所述加热器层与所述电荷漏层电绝缘,其中,在其之间施加电压的所述区域位于所述加热器层中。
2.根据权利要求1所述的X-射线窗口,还包括围屏(60),所述围屏在面向所述减压区域的一侧(78)至少部分地围绕所述辅助窗口元件(70),所述围屏是导电的并连接到电荷接收器。
3.根据权利要求2所述的X-射线窗口,其中,所述电荷漏层(76)被所述围屏完全包围,并与所述围屏重叠一距离(d1)。
4.根据权利要求2或3所述的X-射线窗口,其中,所述围屏和所述辅助窗口元件彼此热绝缘。
5.根据权利要求4所述的X-射线窗口,还包括热绝缘的间隔件(66),所述热绝缘的间隔件被布置在所述围屏和所述辅助窗口元件的所述电荷漏层之间,并与两者电接触。
6.根据权利要求5所述的X-射线窗口,其中,所述热绝缘的间隔件包含下列材料之一:
金属化的氧化铝,
β-氧化铝,
掺杂的二氧化硅,
掺杂的陶瓷材料,
金属化的陶瓷材料。
7.根据权利要求4所述的X-射线窗口,还包括:
热绝缘和电绝缘的间隔件(62),所述热绝缘和电绝缘的间隔件被布置在所述围屏和所述辅助窗口元件之间;及
导电丝(68),所述导电丝将所述电荷漏层与所述围屏连接。
8.根据权利要求7所述的X-射线窗口,其中,所述热绝缘和电绝缘的间隔件(62)包含玻璃-陶瓷材料,优选含有Al2O3的玻璃-陶瓷材料。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口,其中,所述加热器层包含下列材料之一:
石墨,
热解碳。
10.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口,其中,所述电绝缘层包含下列材料之一:
钻石,
SiO2,
BeO,
Al2O3,
BN。
11.根据前述权利要求中的任一项所述的X-射线窗口,其中:
所述电荷漏层至多在所述电绝缘层的范围内延伸;及
所述加热器层至少在边界的一部分至少延伸到所述电荷漏层之外一段距离(d3)。
12.根据权利要求11所述的X-射线窗口,其中,所述加热器层的边界的一部分通过被插入到含有导电液体的容器(34)中的狭缝(32)而被固定。
13.根据权利要求1到10中的任何一项所述的X-射线窗口,其中:
所述加热器层至多在所述电绝缘层的范围内延伸;及
所述电荷漏层至少在边界的一部分至少延伸到所述加热器层之外一段距离(d71+d72)。
14.根据权利要求13所述的X-射线窗口,其中,所述电荷漏层的边界的一部分被插入到包含导电流体的容器(34)的狭缝(32)中。
15.根据权利要求1至10中的任一项所述的X-射线窗口,其中,所述电绝缘层至少在边界的一部分至少延伸到所述加热器层之外一段距离(d61)且至少延伸到所述电荷漏层之外一段距离(d62)。
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