[发明专利]减小反射光栅中的光学损耗

说明书

相关申请

本申请要求于2010年12月23日提交的题为“Reducing Optical Loss in Reflective Optical Gratings”的美国临时专利申请序列号61/284,723的权益，并且该临时专利申请的全部内容被合并于此。

技术领域

本发明涉及光学器件且更特别地涉及用于通信应用中的光学器件。

背景技术

用在通信应用中的光学器件常常具有布置在基部上的透光介质。用于把具有不同波长的光信号分开的光栅常常形成在透光介质中。用于导引光信号的波导也可以被限定在透光介质中。透光介质通常包括波导和光栅之间的自由传播区。

在这些光学器件的操作期间，一部分波导把光信号载送到透光介质的自由传播区。光信号行进通过自由传播区至光栅。光栅包括把所接收的光信号反射回到自由传播区中的反射表面。反射光信号以使得具有不同波长的光信号在行进通过自由传播区时分离开。另一部分波导接收来自自由传播区的分离开的光信号并且把分离开的光信号载送离开光栅。

这些光栅与不期望高的光学损耗水平相关联。结果，存在对改进的光栅的需要。

发明内容

一种光学器件，包括：基部上的透光介质。透光介质至少部分地限定了光信号行进通过的自由传播区。反射光栅被布置成使得光信号能够行进通过自由传播区并且被该光栅接收。该光栅被配置为把所接收的光信号反射回到自由传播区中。所述光栅反射光信号，以使得在光信号行进通过所述自由传播区时与不同波长相关联的光信号分离开。所述透光介质的限定所述自由传播区的部分具有小面，所述光信号透射通过所述小面。所述光栅包括位于该小面和被配置为反射由该光栅接收的光信号的反射层之间的缓冲层。

光学器件的另一实施例包括基部上的透光介质。透光介质至少部分地限定光信号行进通过的自由传播区和波导。所述波导包括输入波导和输出波导。反射光栅被布置成使得由所述输入波导导引的光信号能够行进通过所述自由传播区并且被该光栅接收。该光栅被配置为把光信号反射回到自由传播区中，以使得光信号在输出波导处被接收。所述光栅反射光信号，以使得与不同波长相关联的光信号在不同的输出波导处被接收。所述透光介质的限定所述自由传播区的部分具有小面，所述光信号透射通过所述小面。所述光栅包括位于该小面和被配置成反射由该光栅接收的光信号的反射层之间的缓冲层。

光学器件的另一实施例包括基部上的透光介质。所述透光介质至少部分地限定光信号行进通过的自由传播区和波导。所述波导包括输入波导和输出波导。反射光栅被布置成使得由输入波导引导的光信号能够行进通过自由传播区并且被该光栅接收。该光栅被配置为把光信号反射回到自由传播区中，以使得光信号在输出波导处被接收。所述光栅反射光信号，以使得与不同波长相关联的光信号在不同的输出波导处被接收。所述透光介质的限定所述自由传播区的部分具有小面，所述光信号透射通过所述小面。所述光栅包括反射层，所述反射层被配置为反射透射通过该小面的光信号。反射层的上部分定位被布置在透光介质的顶部上。该光栅还包括位于所述透光介质的上部分和反射层之间的缓冲层。

公开了制造该光学器件的方法。

附图说明

图1A至图1C图示了包括被配置为把多个光信号载送到光栅的输入波导的光学器件。该光栅被配置为对光信号进行信号分离。该器件包括输出波导，所述输出波导被配置为把经信号分离的光信号载送离开光栅。图1A是该器件的顶视图。

图1B是图1A中示出的器件沿着被标为B的线截取的截面。

图1C是图1B中示出的器件沿着被标为C的线截取的截面。

图1D图示了被包括在光栅中的反射表面的结构。

图1E图示了在图1A至1D的光学器件上形成的一个或多个次级包覆层。

图2A至图2C图示了在其上形成有波导和光栅的器件前身的一部分。第一掩模形成在该器件前身上。第一掩模使该器件前身的凹口区和该器件前身的沟槽区处于暴露状态。图2A是该器件前身的顶视图。

图2B是图2A中所示的器件前身的沿着图2A中的标为B的线截取的截面。

图2C是图2A中所示的器件前身的沿着图2C中的标为C的线截取的截面。

图3A至图3C图示了在图2A至图2C的器件前身上的第一掩模之上形成的第二掩模。图3A是该器件前身的顶视图。

图3B是在图3A中示出的器件前身的沿着图3A中的标为B的线截取的截面。

图3C是在图3A中示出的器件前身的沿着图3C中的标为C的线截取的截面。