[发明专利]氟气生成装置

权利要求书

1.一种氟气生成装置，其通过将熔融盐中的氟化氢电解，从而生成氟气，该装置具备：

电解槽，其在熔融盐液面上隔离、划分为第1气室和第2气室，在浸渍于熔融盐中的阳极处生成的以氟气为主成分的主产气体被导入所述第1气室，在浸渍于熔融盐的阴极处生成的以氢气为主成分的副产气体被导入所述第2气室；

氟化氢供给源，其中积存有用于补充到所述电解槽中的氟化氢；

精制装置，其捕集从所述电解槽的熔融盐中气化而混入到由所述阳极生成的主产气体中的氟化氢气体，从而精制氟气；以及

回收设备，其将用所述精制装置捕集的氟化氢输送到所述电解槽或所述氟化氢供给源，进行回收。

2.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其中，所述精制装置具备：

主产气体流入的气体流入部，以及

冷却装置，其以氟的沸点以上且氟化氢的熔点以下的温度冷却所述气体流入部，使得主产气体中混入的氟化氢气体凝固，另一方面，氟气通过所述气体流入部，

在所述气体流入部中使氟化氢气体凝固并捕集，

所述回收设备通过解除所述冷却装置导致的所述气体流入部的冷却，并且将主产气体、副产气体和非活性气体中的任一种作为载气供给所述气体流入部，从而将捕集的氟化氢输送到所述电解槽中。

3.根据权利要求2所述的氟气生成装置，其中，所述回收设备在使用主产气体作为所述载气时，将捕集的氟化氢输送到所述电解槽的阳极侧。

4.根据权利要求3所述的氟气生成装置，其进一步具备积存有在所述电解槽的所述阳极处生成的主产气体的缓冲罐，

作为所述载气使用的主产气体是在该缓冲罐中积存的主产气体。

5.根据权利要求2所述的氟气生成装置，其中，所述回收设备在使用副产气体或非活性气体作为所述载气时，将捕集的氟化氢输送到所述电解槽的阴极侧。

6.根据权利要求5所述的氟气生成装置，其进一步具备积存有在所述电解槽的所述阴极处生成的副产气体的缓冲罐，

作为所述载气使用的副产气体是在所述缓冲罐中积存的副产气体。

7.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其中，所述精制装置具备：

主产气体流入的气体流入部，以及

冷却装置，其以氟的沸点以上且氟化氢的熔点以下的温度冷却所述气体流入部，使得主产气体中混入的氟化氢气体凝固，另一方面，氟气通过所述气体流入部，

在所述气体流入部中使氟化氢气体凝固并捕集，

所述回收设备通过解除所述冷却装置导致的所述气体流入部的冷却，并且用抽吸装置抽吸所述气体流入部的内部，从而将捕集的氟化氢输送到所述电解槽或所述氟化氢供给源中。

8.根据权利要求2或权利要求7所述的氟气生成装置，其进一步具备控制所述精制装置的操作的控制装置，

所述精制装置并列配置至少2台以上，

所述精制装置分别具备检测所述气体流入部的氟化氢的蓄积状态的蓄积状态检测器，

所述控制装置根据所述蓄积状态检测器的检测结果，进行所述精制装置的运转切换，使得主产气体导入至待机状态的精制装置中，

将氟化氢通过所述回收设备从由于所述运转切换而停止的精制装置的所述气体流入部排出，将主产气体填充到所述气体流入部，由此，使停止中的精制装置处于待机状态。

9.根据权利要求1所述的氟气生成装置，其中，所述精制装置具备：

主产气体流入的气体流入部，以及

吸附剂，其容纳在所述气体流入部内，并吸附主产气体中混入的氟化氢气体，

使氟化氢气体在所述吸附剂中吸附并捕集，

所述回收设备通过将主产气体作为载气供给到所述气体流入部，从而将在所述吸附剂中吸附并捕集的氟化氢输送到所述电解槽的阳极侧。

10.根据权利要求9所述的氟气生成装置，其进一步具备积存有在所述电解槽的所述阳极处生成的主产气体的缓冲罐，

作为所述载气使用的主产气体是在所述缓冲罐中积存的主产气体。