[发明专利]用于制造微复制工具的方法

权利要求书

1.一种用于在工件中切削图案的方法，其中所述图案包括以节距P分隔开的相邻结构，所述方法包括：

提供切削工具组件，所述切削工具组件包括第一刀柄和第二刀柄，所述第一刀柄带有第一切削刀头以在所述工件中形成第一结构，所述第二刀柄带有第二切削刀头以在所述工件中形成第二结构，其中所述第一切削刀头和所述第二切削刀头之间的距离Y等于nP，并且其中n是大于1的奇整数，

使所述工件相对于所述切削工具组件旋转，以及

使所述切削工具相对于旋转的所述工件沿着侧向前进，其中所述工件每旋转一圈，所述切削工具沿着所述侧向前进距离2P。

2.一种用于在工件中切削图案的方法，其中所述图案包括以节距P分隔开的相邻结构，所述方法包括：

提供切削工具组件，所述切削工具组件包括第一刀柄和第二刀柄，所述第一刀柄带有第一切削刀头以在所述工件中形成第一结构，所述第二刀柄带有第二切削刀头以在所述工件中形成第二结构，其中所述第一切削刀头和所述第二切削刀头之间的距离Y等于nP，并且其中n是偶整数；

使所述工件相对于所述切削工具组件旋转；

从起始位置处开始，使所述切削工具相对于旋转的所述工件沿着侧向前进，其中所述工件每旋转一圈，所述切削工具沿着所述侧向前进距离2Y；

使所述切削工具返回到所述起始位置，并且使所述切削工具沿着所述侧向前进距离P至偏移起始位置；以及

从所述偏移起始位置处开始，使所述切削工具相对于旋转的所述工件沿着所述侧向前进，其中所述工件每旋转一圈，所述切削工具前进距离2Y。

3.一种用于在工件中切削图案的方法，其中所述图案包括以所需的节距P和与P的最大可接受偏差Δ分隔开的相邻结构，所述方法包括：

提供切削工具组件，所述切削工具组件包括第一刀柄和第二刀柄，所述第一刀柄带有第一切削刀头以在所述工件中形成第一结构，所述第二刀柄带有第二切削刀头以在所述工件中形成第二结构；

设定在所述第一切削刀头和第二切削刀头之间的距离Y＝nP，其中n是大于ε/Δ的整数，并且其中ε是在所述第一切削刀头和第二切削刀头之间实现所需的间距的精度；

测量所述第一切削刀头和第二切削刀头之间的实际距离S；

使所述工件相对于所述切削工具组件旋转；以及

使所述切削工具相对于旋转的所述工件沿着侧向前进，其中所述工件每旋转一圈，所述切削工具沿着所述侧向前进距离2P’，其中P’＝S/n。

4.一种导光膜，其包括：

结构化的主表面，所述结构化的主表面包括沿着第一方向延伸的线性微结构的行的阵列，其中

所述阵列中的每个线性微结构都包括具有恒定高度的多个第一区域和具有最大高度的多个第二区域，所述最大高度大于所述多个第一区域的所述恒定高度；

其中间隔开n行的任何两个线性微结构的所述第二区域彼此线性配准，但是不与所述两个线性微结构之间的线性微结构的所述第二区域配准，n大于2。

5.根据权利要求4所述的导光膜，其中至少一些所述线性微结构中的所述第一区域和第二区域具有相同的侧向横截面形状。

6.一种用于在工件中切削图案的方法，所述方法包括：

提供包括多个切削刀头的切削工具组件，其中所述切削刀头具有非恒定的高度，其中所述切削刀头之间的距离P是非恒定的，并且其中所述切削工具组件具有宽度Y；

使所述工件相对于所述切削工具组件旋转，以及

使所述切削工具相对于旋转的所述工件沿着侧向前进，其中所述工件每旋转一圈，所述切削工具沿着所述侧向前进距离Y。