[发明专利]热转换反应密封容器

权利要求书

1.一种热转换反应密封容器，其特征在于，包括：

基板；

器皿，在与所述基板之间形成密封热区；

加热器，配置在所述热区；

流入孔和流出孔，向所述热区供给和排出反应气体；以及

热交换部，形成在所述器皿的内侧，使得通过所述流入孔向所述热区供给的反应气体在吸收向所述器皿传递的热能而冷却器皿温度的同时，以被加热的状态供给到所述热区。

2.根据权利要求1所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述热交换部由循环在所述器皿和所述热区之间的空间，并将所述流入孔和所述热区连接的循环通路构成。

3.根据权利要求2所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述循环通路包括：障壁，用于分开包含流入孔且邻接于器皿的内侧面的空间与包含加热器和流出孔的空间；穿孔，从流入孔隔开而在所述障壁的板面上形成，用于使通过所述流入孔供给的反应气体在移动于障壁和器皿之间空间的过程中进行热交换，之后供给到热区。

4.根据权利要求3所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述障壁设置为具有不同尺寸的两个以上的筒状结构，从而将包含流入孔且邻接于器皿的内侧面的空间与包含加热器和流出孔的空间之间分成多层，且配置为在尺寸大的障壁的内侧插设有尺寸小的障壁的结构。

5.根据权利要求4所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述两个以上障壁为，形成在板面的穿孔以流入孔为基准相互交错而形成，以转换移动路径。

6.根据权利要求5所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述障壁构成为上侧开口的筒状，且进一步包括用于封堵所述多个障壁的上侧且外周缘部紧贴于所述器皿的内侧面的盖。

7.根据权利要求6所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述障壁由在所设置的位置上，针对被从热区传递的热能所加热的温度具有耐热性的材质构成。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的热转换反应密封容器，其特征在于，包括喷嘴，所述喷嘴设置在所述流入孔的排气侧，用于分散供给到所述热交换部的气体。

9.根据权利要求8所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述流入孔在与所述障壁和器皿之间的区域对应的基板板面上形成为多个，且彼此间相隔规定的间隔。

10.根据权利要求9所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述喷嘴形成有：供给管，一端与所述流入孔连接而供给气体，另一端被封堵；至少一个喷孔，从所述供给管侧向形成，用于排出气体。

11.根据权利要求10所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述喷嘴形成有导引部件，所述导引部件从所述喷孔隔开而将侧向喷射的气体引导至下侧方向。

12.根据权利要求11所述的热转换反应密封容器，其特征在于，所述喷嘴形成有：供给管，一端与所述流入孔连接而供给气体，另一端被封堵；以及至少一个喷孔，从所述供给管向下倾斜而形成，用于排出气体。