[发明专利]剥离装置

说明书

技术领域

本发明涉及对贴附在基板上的加强片进行剥离的剥离装置。

背景技术

近年来，显示面板、太阳电池、薄膜二次电池等电子设备的薄型化、轻量化不断发展，所述电子设备中使用的玻璃基板的薄板化不断发展。由于薄板化而玻璃基板的强度下降时，玻璃基板的处理性下降，因此难以在玻璃基板上形成电子设备用部件(例如薄膜晶体管或滤色器)。

相对于此，在专利文献1中公开有在玻璃基板上可剥离地贴附有加强片的层叠体。在玻璃基板上的与加强片侧的相反的一侧的面上形成了电子设备用部件之后，通过将贴附在玻璃基板上的加强片剥离，而能够补充玻璃基板的强度的下降。

另外，在专利文献1中记载有为了将贴附在玻璃基板上的加强片剥离而使剃刀的刃等插入玻璃基板与加强片之间来进行初始剥离的方法。通过进行初始剥离，而能够容易进行之后的剥离。

另一方面，在专利文献2中提出有一种对贴附在吸附部件上的玻璃基板进行剥离的剥离装置，在玻璃基板上安装板状的挠性部件，并使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向伸缩，从而使玻璃基板从两端侧开始依次发生弯曲变形而进行剥离。

另外，在专利文献3中记载有一种对贴附在树脂基板上的加强片进行剥离的剥离装置，使旋转体旋转并使旋转体的曲面依次与加强片的上表面接触，从接触的部分开始，使加强片依次发生弯曲变形而进行剥离。

专利文献1：国际公开第08/007622号小册子

专利文献2：日本特开2000-84844号公报

专利文献3：日本特开2004-142878号公报

在专利文献1中，未对初始剥离后的剥离方法进行具体说明。因此，考虑使用专利文献2所记载的剥离装置的方法作为初始剥离后的剥离方法。例如，在加强片上安装板状的挠性部件，使固定在挠性部件上的多个杆以每一个杆为单位沿轴方向伸缩，使加强片从一端侧开始(即，从进行了初始剥离的位置开始)依次发生弯曲变形而进行剥离。

然而，在专利文献2所记载的剥离装置中，各杆无法沿轴正交方向移动，因此存在妨碍加强片的弯曲变形的情况。加强片的弯曲变形较小时，加强片与基板大致平行地剥离，因此用于剥离的力增大，剥离变得困难。因此，在加强片含有树脂层且该树脂层与基板密接的情况下，剥离时树脂层有可能凝集破坏而附着在基板上。

另一方面，在专利文献3中，由于通过旋转体的曲面形状来决定加强片的弯曲变形的程度，因此难以应对剥离对象的变更。

发明内容

本发明鉴于上述课题而作出，其目的在于提供一种能够容易地将贴附在基板上的加强片剥离且能够容易地应对剥离对象的变更的剥离装置。

为了解决上述目的，本发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：

对包含所述基板及所述加强片的层叠体的一个主面进行支承的支承单元；

安装在所述层叠体的另一个主面上的板状的挠性部件；

固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；

分别与所述多个垫连结的多个杆；

用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿轴方向移动的多个驱动装置；及

对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，

所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，

通过所述支承单元支承所述层叠体的一个主面，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置，以使所述层叠体的另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。

而且，本发明涉及一种剥离装置，将贴附在基板上的加强片剥离，具备：

安装在包含所述基板及所述加强片的层叠体的两个主面上的板状的挠性部件；

固定在所述挠性部件上的与所述层叠体侧相反的一侧的面上的多个垫；

分别与所述多个垫连结的多个杆；

用于使所述多个杆以每一个杆为单位沿杆的轴方向移动的多个驱动装置；

对所述多个杆的位置以每一个杆为单位进行控制的控制装置，

所述多个垫经由多个接头中的任一个与所述多个杆中的任一个连结，并能够以所述被连结的杆的中心线与所述加强片上的所述基板侧的面或所述基板上的所述加强片侧的面的交点附近为中心进行转动，

通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使所述层叠体的一个主面从一端侧开始依次弯曲变形，并通过所述控制装置控制所述多个杆的位置以使另一个主面从一端侧开始依次弯曲变形。

发明效果