[实用新型]一种直拉单晶炉晶棒托架

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种直拉单晶炉晶棒托架，属于单晶硅的生产制造设备领域。

背景技术

单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时，多晶硅在石英坩埚内加热熔化，然后对熔融的硅略微降温，给予一定的过冷度，把一支具有特定晶向的硅单晶体(称作籽晶)与熔融的硅接触，通过调整熔融硅的温度和籽晶的向上提升速度，使籽晶体长大至目标直径，然后提高提升速度，使单晶体近恒直径生长，在生长过程尾期，此时通过增加晶体的提升速度和调整向坩埚的供热量将晶体直径渐渐减小而形成一个尾部锥体，当锥体的尖足够小时，晶体就会与熔体脱离，从而完成晶体生长过程。晶体生长结束后要将晶棒提升至副炉内，然后旋转副炉至单晶炉的一侧，然后下降晶棒至副炉外，从而取出晶棒。在本实用新型做出之前，由于悬在副炉中的晶棒与籽晶夹头之间有一段是6~14mm的籽晶，其破裂强度与抗拉强度均较小，且晶棒在下降过程中存在一定的晃动，因此晶棒很容易出现断裂，存在极大的安全隐患。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种无安全隐患，使用方便的直拉单晶炉晶棒托架。

本实用新型的目的是这样实现的：一种直拉单晶炉晶棒托架，其特点是：它包括固定板、导柱和托架板，所述导柱下部设置有一凸台，所述托架板两端均开有通孔，所述固定板的一端与导柱顶部相连接，固定板另一端通过螺栓固定在副炉下法兰上，所述托架板一端通孔套装在导柱上，托架板另一端通孔上设置有挡圈，所述挡圈通过压片与螺栓固定在托架板上。

所述挡圈与托架板上通孔的中心线重合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型一种直拉单晶炉晶棒托架，在晶棒生长结束后的取出过程中旋转至晶棒下部对晶棒起支撑作用，其使用方便，且无安全隐患，避免了晶棒易受外部冲击力折断坠落对人身造成伤害和产品造成损失的风险。

附图说明

图1为本实用新型一种直拉单晶炉晶棒托架的结构示意图。

其中：

固定板1、导柱2、螺栓3、挡圈4、压片5、托架板6、副炉下法兰7。

具体实施方式

参见图1，本实用新型涉及一种直拉单晶炉晶棒托架，它包括固定板1、导柱2和托架板6，所述导柱2下部有一凸台，托架板6两端均开有通孔，托架板6一端套装在导柱2上，可绕导柱2进行旋转，导柱2上部与固定板1一端相连接，固定板1另一端通过螺栓3固定在副炉下法兰7上，托架板6另一端通孔上设置有挡圈4，挡圈4通过压片5与螺栓3固定在托架板6上，挡圈4与通孔的中心线重合。

晶体生长结束后被提升至副炉内，旋转副炉至单晶炉一侧，旋转托架板6对准晶棒，缓慢下降晶棒使其尾部锥体部分落入挡圈4内，避免晶棒在取出过程中由于意外冲击力折断坠落而造成人身伤害和产品损失。