[实用新型]光刻胶涂覆设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示技术，尤其涉及一种光刻胶涂覆设备。

背景技术

液晶显示器是目前常用的平板显示器，其中薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)是液晶显示器中的主流产品。

光刻胶涂覆是液晶显示器制造过程中的重要环节。光刻胶涂覆的典型结构包括涂覆基台、涂胶杆。

其中，涂覆基台用来放置待涂覆光刻胶的成膜基板，涂胶杆为带有狭缝的杆，杆内有管道，光刻胶通过管道流到狭缝，再通过狭缝涂覆到成膜基板上。

涂胶杆位于机台的上方，成膜基板经清洗工艺后，由机械手转送到涂覆基台，然后将涂胶杆移到成膜基板一端，同时涂胶杆以开始匀速滴胶。然后涂胶杆匀速移动到成膜基板的另一端，停止滴胶，完成涂覆。

现有技术存在的缺陷在于：涂胶杆从开始移动到匀速运动的过程中，移动速度小于匀速运动，而涂胶杆滴胶的速度不变，导致成膜基板的涂胶初始段涂覆的光刻胶较厚。并且，涂胶杆移动到成膜基板的另一端时，开始减速，而涂胶杆滴胶速度仍然不变，导致成膜基板的涂胶结束段涂覆的光刻胶较厚，使得成膜基板即使经过后续的旋转匀胶工序，涂胶的均匀性仍难以保证。

实用新型内容

本实用新型提供一种光刻胶涂覆设备，以实现成膜基板上的光刻胶均匀涂覆。

本实用新型提供一种光刻胶涂覆设备，包括涂覆基台和涂胶杆，还包括：

前导件，位于所述涂覆基台上所述涂胶杆从静止处到开始匀速移动处的下方；所述前导件的尾端位于所述涂覆基台上所述涂胶杆开始匀速移动处的下方；

后导件，位于所述涂覆基台上所述涂胶杆从开始减速处到停止处的下方；所述后导件的开始端位于所述涂覆基台上所述涂胶杆开始减速处的下方。

如上所述的光刻胶涂覆设备，其中，所述前导件可为前导板。

作为本实用新型的进一步改进，如上所述的光刻胶涂覆设备还可包括：

前置槽，位于所述前导板的下方，内设置有光刻胶剥离液；

前置空气喷嘴，位于所述前导板背离所述后导板的一侧，并朝向所述前导板。以对前后导板上涂覆的光刻胶进行回收，节约材料。

作为本实用新型的进一步改进，如上所述的光刻胶涂覆设备，还可包括：

前置旋转件，包括旋转臂及固定臂，所述旋转臂的一端与所述固定臂活动连接，另一端与所述前导板固定垂直连接；

所述前置槽中光刻胶玻璃液液面的距离小于等于所述旋转臂的长度。以实现前导件的自动旋转。

或者，所述前导件可为前导槽。优选地，所述前导槽的槽内底面为倾向于与所述涂胶杆移动方向垂直的一侧的斜面；进一步地，如上所述的光刻胶涂覆设备还可包括：

前置胶盒，位于所述斜面向下倾斜的一侧，与所述前导槽内部导通。以对前后导槽上涂覆的光刻胶进行回收，节约材料。

类似地，所述后导件可为后导板。进一步地，如上所述的光刻胶涂覆设备还可包括：

后置槽，位于所述后导板的下方，内设置有光刻胶剥离液；

后置空气喷嘴，位于所述后导板背离所述前导板的一侧，并朝向所述后导板。

如上所述的光刻胶涂覆设备还可进一步包括：

后置旋转件，包括旋转臂及固定臂，所述旋转臂的一端与所述固定臂活动连接，另一端与所述后导板固定垂直连接；

所述后置槽中光刻胶玻璃液液面的距离小于等于所述旋转臂的长度。

或者，所述后导件可为后导槽。所述后导槽的槽内底面可为一斜面，沿所述后导槽的长度方向向下倾斜；

所述光刻胶涂覆设备还可进一步包括：

后置胶盒，位于所述斜面向下倾斜的一侧，与所述后导槽内部导通。

本实用新型提供的光刻胶涂覆设备，通过在涂胶杆的启动加速段和停止减速段分别设置前导件和后导件，保证了启动加速段与停止减速段之间的成膜基板上的涂胶过程为匀速涂胶过程，解决了成膜基板前后端涂覆的光刻胶较厚的问题，改善了成膜基板的涂胶均匀性，尤其是涂胶前端和后端的光刻胶均匀性，从而提高了后续曝光和刻蚀的均匀性，进而提高了良品率。

附图说明

图1为本实用新型实施例一提供的光刻胶涂覆设备的俯视图；

图2为本实用新型实施例二提供的光刻胶涂覆设备的俯视图；

图3A为本实用新型实施例二提供的光刻胶涂覆设备中前后导板、前后置旋转件及前后置槽的在涂胶杆涂胶时的结构示意图；

图3B为本实用新型实施例二提供的光刻胶涂覆设备中前后导板、前后置旋转件及前后置槽的在前后导板光刻胶被剥离时的结构示意图；