[实用新型]一种夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备制造技术领域，更具体地说，涉及一种夹具。

背景技术

在硅单晶的生长工艺中，硅单晶放置在硅单晶炉中，当生长结束后，需要将硅单晶炉中的热场部件取出进行清扫，由于硅单晶生长结束后热场部件的残余温度达400℃，现有的取出过程中，工人手工将热场部件取出，这样造成工人工作不安全，稍有不慎会造成烫伤事件，另外在人工的操作过程中，由于高温烫伤而提前松手，造成热场部件碰撞，减少了热场部件的使用寿命。

为了保证工人在热场部件取出过程的安全，需要等待热场部件冷却很长时间后，才将其取出，由于热场部件的残余温度很高，所以等待热场部件冷却的时间很长，不仅降低了热场部件的取出效率，进而降低热场部件的清扫效率。

为了提高热场部件的清扫效率，就必须在硅晶体生长结束后立即取出热场部件并对其进行清扫，所以，设计一种硅单晶炉内热场部件的取出装置，可以方便取出热场部件，同时防止工人烫伤是本领域技术人员目前设计的主要方向。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种夹具，以实现快速地在硅单晶生长结束后将热场部件取出，保证工人的操作安全。

为了达到上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：

一种夹具，包括：

支撑架，其上设置有起吊件；

至少三个，且可旋转地设置在所述支撑架上的提升杆，且至少一个所述提升杆的顶端设置有操作端，所述提升杆的底端设置有水平支撑部，所述提升杆上设置有联动轮；

与所述联动轮配合的同步传动件。

优选的，上述夹具中，所述支撑架为不锈钢圆筒，所述提升杆可旋转地设置在所述不锈钢圆筒的筒壁上。

优选的，上述夹具中，所述联动轮为齿轮，所述同步传动件为内齿圈。

优选的，上述夹具中，所述联动轮为齿形带轮，所述同步传动件为同步带。

优选的，上述夹具中，所述联动轮为链轮，所述同步传动件为同步链。

优选的，上述夹具中，所述提升杆的数量为6个，且均匀地设置在所述支撑架上。

优选的，上述夹具中，所述操作端为折弯部或者手柄。

优选的，上述夹具中，所述提升架的水平支撑部上设置有定位杆，所述定位杆与所述水平支撑部垂直。

优选的，上述夹具中，所述起吊件包括吊环和吊绳，所述吊绳至少为3条，所述吊绳的一端均匀地连接在所述支撑架上，另一端连接在所述吊环上。

优选的，上述夹具中，还包括升降机构，该升降机构包括支撑架和可升降设置在所述支撑架上的横梁，所述横梁上设置有与所述吊环配合的吊钩。

由上述技术方案可知，本实用新型实施例提供的夹具中，由于联动轮与同步传动件配合，所以旋转其中一个提升杆，会导致其他的提升杆旋转。在工作的过程中，当硅单晶生长完成后，将该夹具罩在热场部件上，提升杆处于热场部件和炉壁之间的缝隙中，旋转提升杆的操作端，使得所有的提升杆旋转，旋转后，所有提升杆的底端的水平支撑部旋转到热场部件的底部，然后通过起吊支撑架上的起吊件，实现将热场部件从硅单晶炉中取出，本实用新型实施例中提供的夹具相当于一个机械手，通过对其进行操作，可以在硅单晶生长结束后，将热场部件快速地从硅单晶炉中取出，提高了对热场部件清扫的效率，同时，整个取出过程中，工人只需操作一下提升杆上的操作端即可，避免了现有技术中采用工人直接将热场部件取出所带来的安全隐患，提高了工人工作的安全性。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的夹具的结构示意图；

图2为图1的剖视结构示意图；

图3为图1的俯视结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的设置有升降结构上的夹具的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地了解本实用新型中的技术方案，现在就申请文件中的技术名词进行解释如下：

热场部件，指的是硅单晶炉内石墨加热器、石墨坩埚、石墨保温桶、石墨导流筒、石墨电极、碳毡、碳碳复合材料坩埚等部件的统称。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例公开了一种夹具，实现了快速地在硅单晶生长结束后将热场部件取出，保证了工人的安全。

请参考附图1-3，图1为本实用新型实施例提供的夹具的结构示意图；图2为图1的剖视结构示意图；图3为图1的俯视结构示意图。