[实用新型]液位指示工具有效
申请号: | 201020564810.7 | 申请日: | 2010-10-16 |
公开(公告)号: | CN201844867U | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 许亮 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01F23/72 | 分类号: | G01F23/72 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 指示 工具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种液位指示工具。
背景技术
在半导体生产中,化学气相沉积工艺(英文简称CVD)是指单独或综合利用热能、辉光放电等离子体、紫外光照射、激光照射等能源,使气态物质在固体热表面上发生化学反应并在该表面上沉积,从而形成稳定的固态物质膜。由此可见,CVD工艺中会使用到很多气源进行反应,为了保证CVD工艺的顺利、稳定进行,工作人员必须要保证气源的稳定供应。目前气源的供应是通过将钢瓶(即存放液体的容器)内的液体经过加热装置转化气体来实现的。在生产过程中,操作人员需要掌握每个钢瓶内的液位。目前,操作人员是通过触摸工作站的用户界面,并转到传感器界面,来读取各个钢瓶的三种读值:高位、中位或低位。一旦读值到了低位,就要及时地更换气源瓶。但是这种显示,非常粗略,不利于操作人员及时掌握钢瓶内的精确液位。而且液位的显示不够直观,操作比较麻烦、费时。
因此,如何提供一种可以直观显示容器内的液体剩余情况的液位指示工具是本领域亟待解决的一个技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种液位指示工具,使用方便,可以直观显示容器内的液体剩余情况。
为了达到上述的目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种液位指示工具,用于显示容器内的液位,包括磁性浮标和磁性标志物,所述磁性浮标放置于所述容器内部,所述磁性标志物竖向依次排列在所述容器的外壁。
在上述的液位指示工具中,所述磁性标志物是磁性标志球,所述磁性标志球具有N极和S极,所述N极和S极的外表面涂有不同颜色的涂层。所述N极和S极的外表面涂有黑白相对的涂层。所述容器的外壁设有竖向支架,所述磁性标志物通过转销可转动式依次连接于所述支架上。
在上述的液位指示工具中,所述磁性标志物也可以是磁性指针元件。
在上述的液位指示工具中,所述磁性浮标包括磁铁和载体,所述磁铁嵌设于所述载体。
在上述的液位指示工具中,所述容器内设有用于限制磁性浮标的限位板,所述限位板上开有通孔。
在上述的液位指示工具中,所述磁性标志物设置所述容器的顶部至底部位置。所述磁性标志物也可以设置在所述容器的中部至底部位置。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型液位指示工具,结构简单、使用方便,由于磁性浮标和磁性标志物的相互作用,与磁性浮标不同距离的磁性标志物所转的角度不同,因而,可以通过观察各个磁性标志物的情况来判断磁性浮标的位置,从而获知容器内的液位,故可以直观反应容器内的液体剩余情况,方便操作人员及时、准备了解容器内的剩余液体情况,提高了工作效率。
附图说明
本实用新型的液位指示工具由以下的实施例及附图给出。
图1是本实用新型液位指示工具实施例1的结构示意图;
图2是图1的侧面示意图;
图3是本实用新型实施例1的磁性浮标的结构示意图;
图4是本实用新型液位指示工具实施例2的结构示意图;
图5是图4的侧面示意图。
图中,1-磁性浮标、11-载体、12-磁铁、2-磁性标志物、21-N极、22-S极、3-容器、4-液体、5-支架、6-转销、7-透明盖板、8-限位板、81-通孔。
具体实施方式
以下将对本实用新型的液位指示工具作进一步的详细描述。
下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述,其中表示了本实用新型的优选实施例,应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此,下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道,而并不作为对本实用新型的限制。
为了清楚,不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中,不详细描述公知的功能和结构,因为它们会使本实用新型由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中,必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标,例如按照有关系统或有关商业的限制,由一个实施例改变为另一个实施例。另外,应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的,但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
为使本实用新型的目的、特征更明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
实施例1
请参见图1-图3,图1所示是本实用新型液位指示工具实施例1的结构示意图;图2所示是图1的侧面示意图;图3所示是本实用新型实施例1的磁性浮标的结构示意图。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201020564810.7/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。