[实用新型]线切割中断线补救装置

说明书

所属技术领域：

本实用新型涉及一种用于单晶硅线切割技术领域，主要涉及线切割中断线补救装置

背景技术：

在线切割过称中，断线是不可避免的，在一般情况下，主线辊外侧断线，活动导轮可移动范围在(0～120mm)，并且在0～120mm之间存在一个70～80mm死角不可移动，这对挽救晶棒，减少断线带来的损失且减少对机器的影响都不利。

发明内容：

在线切割过称中，断线是不可避免的，通常主线辊外侧断线，可移动导轮支架，重新接线进行切割，可移动位置约为0～120mm。当断线在主线辊中间位置，而切割进给量已达60mm以上，导轮移动支架无法移动到断线部位，则断线后的补救将变的困难。本实用新型对导轮移动支架进行改进，在固定的模块上，重新增加三对螺丝孔，原先的两对固定螺丝孔照用。这样就增加了活动导轮支架的移动量。当主线辊外侧断线，且超出原移动支架的移动范围时，可通过改变模块的位置来移动导轮支架，变大移动支架的移动范围，使得导轮槽口和主线辊出线在一直线上，以便于重新接线进行切割。同时如果支架过分向内侧移动，将可能会与右侧进线接触，可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块，使移动支架方向略偏，与进线错开。

通过变动移动导轮支架的位置，增加移动支架的移动范围，使断线后导轮移动支架可移动到断线部位，重新接线进行切割，挽救晶棒，减少断线带来的损失，且对机器不产生影响。

本实用新型对导轮移动支架进行改进，在固定的模块地板上，重新增加三对螺丝孔，原先的两对固定螺丝孔照用。这样就增加了活动导轮支架的移动量。当主线辊外侧断线，且超出原移动支架的移动范围时，可通过改变模块的位置来移动导轮支架，重新接线进行切割，这样移动支架的移动范围将变大，便于导轮槽口和主线辊出线在一直线上。同时如果支架过分向内侧移动，将可能会与右侧进线接触，可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块，使移动支架方向略偏，与进线错开。

通过变动移动导轮支架的位置，增加移动支架的移动范围，使断线后导轮移动支架可移动到断线部位，重新接线进行切割，挽救晶棒，减少断线带来的损失，且对机器不产生影响。

附图说明：

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

附图1、线轴布线图；

附图2、模块及移动支架示意图；

附图3、金属垫块示意图。

附图中1是模块内侧固定板，2是模块外侧活动板，3是移动支架，4是线轴LH#5，5是线轴LH#6，6是线轴RH#4，7是线轴RH#5，8是金属线，9是主线辊，10是金属垫块，11是原螺丝孔，12是新螺丝孔。

具体实施方式：

本实用新型包括模块内侧固定板(1)，模块外侧活动板(2)，移动支架(3)，线轴LH#5(4)，线轴LH#6(5)，线轴RH#4(6)，线轴RH#5(7)，线轴RH#4与线轴RH#5之间金属线(8)，主线辊(9)，金属垫块(10)，原螺丝孔(11)，新螺丝孔(12)

本实用新型对导轮移动支架(3)进行改进，在固定的模块地板(1)上，重新增加三对螺丝孔(12)，原先的两对固定螺丝孔(11)照用。这样就增加了活动导轮支架(3)的移动量。当主线辊(9)外侧断线，且超出原移动支架的移动范围时，可通过新螺丝孔(12)来改变模块的位置，从而移动导轮支架(3)，使得导轮槽口和主线辊(9)出线在一直线上，便于重新接线进行切割。同时如果移动支架(3)过分向内侧移动，将可能会与右侧进线(8)接触，可采用在模块内外侧之间垫一金属垫块(10)，使移动支架(3)方向略偏，与进线(8)错开。