[实用新型]一种防止显微镜机台掉落晶片的装置和显微镜机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体技术，尤其涉及一种防止显微镜机台掉落晶片的装置和显微镜机台。

背景技术

在晶片加工过程中，经常需要用显微镜对晶片进行观察，以察看晶片加工的好坏。目前在使用显微镜时，因为显微镜操作按钮位置的关系，在将晶片从A臂上交换至显微镜下方的平台时，由于操作的疏忽或者操作习惯造成在交换时晶片撞到操作员的手臂从而造成晶片掉落。如图1所示，其中，1为显微镜机台，2为操作按钮，3为A臂，4为晶片，5为操作员手臂位置，箭头所指方向为晶片移动的方向，虚线框6所示位置即为晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方。

在上述操作过程中，由于晶片会撞到操作员的手臂，可能会造成人体损伤，并且晶片的掉落会对晶片造成伤害，影响了产品良率，甚至会导致产品报废。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种防止显微镜机台掉落晶片的装置和具有该装置的显微镜机台。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种防止显微镜机台掉落晶片的装置，用于安装在显微镜机台上晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方，其中，该防止显微镜机台掉落晶片的装置为L形罩盖，所述L形罩盖为一体形成或通过一个臂铰接在另一个臂上形成。

进一步地，所述L形罩盖的一个臂的末端设置有缺角。

进一步地，所述L形罩盖上设置有螺孔，所述螺孔位于所述L形罩盖的一个或两个臂上。

进一步地，该防止显微镜机台掉落晶片的装置的材料为压克力。

一种显微镜机台，其上设置有防止显微镜机台掉落晶片的装置，该防止显微镜机台掉落晶片的装置安装在该显微镜机台上晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方，并且该防止显微镜机台掉落晶片的装置为L形罩盖，所述L形罩盖为一体形成或通过一个臂铰接在另一个臂上形成。

进一步地，所述L形罩盖的一个臂的末端设置有缺角，该缺角的位置对应于该显微镜机台的操作按钮。

进一步地，所述L形罩盖粘接在所述显微镜机台上；或者，所述L形罩盖上设置有螺孔，所述螺孔位于所述L形罩盖的一个或两个臂上。

进一步地，所述防止显微镜机台掉落晶片的装置的材料为压克力。

本实用新型使用时，是在显微镜机台上安装有防止显微镜机台掉落晶片的装置，该防止显微镜机台掉落晶片的装置为L形罩盖结构。由于该防止显微镜机台掉落晶片的装置安装在显微镜机台上晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方，因此其能够防止操作员将手臂放在该位置，从而避免在操作显微镜机台的操作按钮时晶片与操作员手臂发生碰撞，进而有效保护操作员以及产品的安全。

附图说明

图1为现有技术中操作显微镜机台时的位置示意图；

图2为本实用新型的防止显微镜机台掉落晶片的装置的结构示意图；

图3为本实用新型操作显微镜机台时的位置示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图2所示，本实用新型提供一种防止显微镜机台掉落晶片的装置，其用于安装在显微镜机台上晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方，并且该防止显微镜机台掉落晶片的装置为L形罩盖，该L形罩盖为一体形成或通过一个臂71铰接在另一个臂73上形成(图中72为铰接部)。

应用时，将该防止显微镜机台掉落晶片的装置7安装在显微镜机台上晶片在交换时易于与操作员手臂发生碰撞的地方(参见图3)，这样其能够防止操作员将手臂放在该位置，从而避免在操作显微镜机台的操作按钮时晶片与操作员手臂发生碰撞，进而有效保护操作员以及产品的安全。

优选地，所述L形罩盖的一个臂71的末端设置有缺角74，以防止该防止显微镜机台掉落晶片的装置安装后，对显微镜机台1的操作按钮2造成影响。

本实用新型的防止显微镜机台掉落晶片的装置既可以粘接在显微镜机台上，也可以采用螺栓安装的方式，当采用螺栓安装时，优选地，所述L形罩盖上设置有螺孔75，所述螺孔75位于所述L形罩盖的一个或两个臂上。当然，本领域技术人员应该理解，L形罩盖的两个臂上都设置有螺孔时，安装固定效果最佳(图2和图3中所示的实施例即是采用了该方式)。

并且，本实用新型的防止显微镜机台掉落晶片的装置的材料可以为各种硬度好、透明度高的塑料材料，其中优选采用压克力材料。