[实用新型]防信号干扰装置及包含该防信号干扰装置的溅射机台有效
| 申请号： | 201020506230.2 | 申请日： | 2010-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201857425U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 信号 干扰 装置 包含 溅射 机台 | ||
1.一种防信号干扰装置，其特征在于，所述防信号干扰装置包括：
第一金属壳体；
第二金属壳体；
所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置电磁共效马达；
所述第一金属壳体与第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置线缆。
2.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第二金属壳体的数量是一个或者数个。
3.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第二容置空间设置在所述第一容置空间内。
4.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第二容置空间设置在所述第一容置空间外。
5.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第一容置空间呈长方体状。
6.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第一容置空间呈挖去一角的长方体状。
7.如权利要求1所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第二容置空间呈长方体状。
8.如权利要求7所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第二容置空间是水平设置或者竖直设置。
9.如权利要求1～8中任一项所述的防信号干扰装置，其特征在于，所述第一金属壳体上设置有把手装置。
10.一种溅射机台，所述溅射机台包括外壳以及设置在所述外壳顶部的电磁共效马达，所述电磁共效马达周围设置有线缆，其特征在于，所述溅射机台还包括防信号干扰装置，所述防信号干扰装置固定在所述外壳顶部，所述防信号干扰装置包括第一金属壳体以及第二金属壳体，所述第一金属壳体构成第一容置空间，用以容置所述电磁共效马达，所述第一金属壳体与所述第二金属壳体共同构成第二容置空间，用以容置所述线缆。
11.如权利要求10所述的溅射机台，其特征在于，所述防信号干扰装置通过铆钉或者支架固定在所述溅射机台的外壳顶部。
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