[实用新型]具上掀式光源固定机构的测试头

说明书

技术领域

本实用新型涉及具上掀式光源固定机构的测试头，尤指一种具光源且适用于检测感光半导体元件的测试设备的测试头。

背景技术

目前半导体测试技术中，关于测试如感光半导体元件时，于测试中需另外增加光源照射半导体元件，并同时检测半导体元件的反应信号，来判断半导体元件是否正常运作。

请同时参阅图1、图2、及图3，图1为现有测试头的立体图，图2为现有测试头的剖视图，图3为现有测试头的分解图。图中显示现有具光源照射的测试头9，其中测试头外壳90包括有一后盖板91，而光源部件92先锁附于一锁附座93上，然后锁附座93再锁附于后盖板91上；或者先锁附锁附座93，然后光源部件92再锁附于锁附座93上。然而，不论如何其组装过程繁复且因锁附座93、及光源部件92皆具备一定重量，组装过程不便且容易发生危险。

再且，当测试头硬件面临维修或升级时，例如更换内部的测试电路板94(Pin Electronics Card，PE Card)时，需要逐一拆解光源部件92、及锁附座93后，再打开后盖板91后才可进行内部维护、或升级工作，其拆卸过程亦相当繁复，耗时费工，致使形成设备于设置时或维修作业时效益不彰，拖延停机时间，图增成本。此外，现有具光源照射的测试头9仅是靠锁附方式锁附于后盖板91上，而光源部件92、及锁附座93又具有相当的重量，常会造成锁附螺丝断裂、或后盖板91弯曲变形、或甚至破裂。

实用新型内容

本实用新型为一种具上掀式光源固定机构的测试头，包括：一外壳体、一透镜管、一侧架、一上掀架、及一光源模块。其中，外壳体包括有一前盖板、及一后开口，而前盖板包括有一内表面、及一外表面，且前盖板开设有一光照射孔。此外，透镜管组设于前盖板的内表面上并对应于光照射孔；侧架组设于前盖板的内表面上；上掀架枢接于二侧架上，且上掀架可选择式趋近接合或上掀远离于二侧架的一端。另外，光源模块组设于上掀架上，且光源模块包括有一发光部，其对应于透镜管。

再者，本实用新型可还包括有至少一气压缸，其二端分别枢设于侧架、及上掀架，而气压缸可为一氮气缸、油压缸、或其它等效装置。据此，本实用新型通过气压缸除用以辅助出力使上掀动作更为轻松外，并同时可用以支撑、及固定上掀架。此外，本实用新型可还包括有一探针塔(PogoTower)，其组设于前盖板的外表面上，以电性接触半导体芯片以进行测试。

另外，本实用新型可还包括有一限位调整件，而限位调整件的二端分别枢设于侧架与上掀架。据此，本实用新型通过限位调整件可调整上掀架上掀的行程，通过此限制上掀架上掀的高度。再且，本实用新型的限位调整件可包括有一限位杆、一滑动座、及一转动座，而限位杆的二端分别包括有一挡止部、及一螺纹段。其中，滑动座组设于上掀架，转动座枢设于侧架，而滑动座穿设于限位杆并可相对滑移于挡止部、及螺纹段间，且限位杆的螺纹段螺合于转动座。因此，通过限位杆的螺纹段来调整滑动座滑移的行程，并达成可调整、及限制上掀架上翻的高度。

此外，本实用新型的侧架可凸伸出后开口外，而侧架对应接合上掀架的一端包括有一斜端面，且上掀架对应接合侧架的一端包括有一斜接面。据此，本实用新型的侧架、及上掀架分别通过斜端面、及斜接面相对应接合，可达成特定角度的接合效果，如使侧架、及上掀架呈垂直型态，以方便光源模块的发光直接照射，减少不必要的折射、或反射机构或元件。

再且，本实用新型可还包括有另一侧架，其组设于前盖板的内表面上，且侧架与另一侧架分设于透镜管的二侧，以更稳固支撑光源模块。而且，本实用新型可包括有一底板、及一扣合紧固件。其中，底板组设于侧架与另一侧架下方，而扣合紧固件可包括有一第一扣合部、及一第二扣合部，其中第一扣合部组设于底板，第二扣合部组设于上掀架，且第一扣合部与第二扣合部可选择式扣合或分离。据此，通过扣合紧固件固定上掀架于侧架上，以避免上掀架晃动或非预期上掀，造成发光部无法对应于透镜管，而影响测试的进行。

较佳的是，本实用新型可还包括有一顶板、及一铰链。其中，顶板可组设于侧架与另一侧架上方，而铰链枢接组设于顶板与上掀架上。据此，上掀架通过铰链旋转枢接于于顶板，以方便上掀架进行上掀。

本实用新型的有益效果是，所提供的具上掀式光源固定机构的测试头，能稳固支撑光源模块，且通过上掀机构又可快速且简易对测试头内部进行检修或升级。本实用新型通过气压缸除用以辅助出力使上掀动作更为轻松外，并同时可用以支撑、及固定上掀架。

附图说明

图1为现有测试头的立体图；

图2为现有测试头的剖视图；

图3为现有测试头的分解图；